2008薄膜物 试 题B卷.docVIP

哈工大 2008 年 春 季学期 班号 姓名 薄膜物理 试 题B卷 题号 一 二 三 四 五 六 七 八 九 十 总分 分数 一、填空 (每个1分，共10分) 1.表征溅射特性的参量主要有 、 、 等。 2. 溶胶(Sol)是具有液体特征的胶体体系，分散的粒子是固体或者大分子，分散的粒子大小在 之间 3．薄膜的组织结构是指它的结晶形态，其结构分为四种类型： ， ， ， ， 4．气体分子的速度具有很大的分布空间。温度越高、气体分子的相对原子质量越小，分子的平均运动速度越 。 二、解释下列概念 (每个2分，共10分) 1. 真空蒸发镀膜法 2．离化率 3．溅射镀膜法 第 1 页 （共 7 页） 试 题： 班号： 姓名： 4. 化学气相沉积