硬碟機相關之mems技術及理論.docVIP

硬碟機相關之MEMS技術及理論 硬碟機為一高密度資料儲存裝置，其關鍵性零組件為讀寫頭滑塊及碟片的製作。在極高精度的需求之下作高速轉動 5400~20000rpm ，讀寫頭滑塊在碟片上的飛行高度為25nm，若等比率放大實可視為：要求一波音747飛機以2.5mm的飛行高度穩定的飛行在地面上。因此相關衍生的問題有 1 稀薄氣體效應、 2 表面粗糙度效應、 3 分子空氣潤滑理論的建立、 4 讀寫頭滑塊的表面設計、 5 以MEMS製程製作讀寫頭滑塊、 6 碟片製作技術、 7 讀寫頭滑塊動力學分析、 8 讀寫頭滑塊支撐懸臂FEM分析、 9 高速主軸設計等問題。 MEMS加速規[1] 用於偵測及補償讀寫頭相關振動問題 高速主軸 10000~20000rpm 及軸承系統 在高轉速之下，原有以液體潤滑的軸承面臨流體慣性的不可忽略、氣泡產生及兩相流的問題。本計劃考慮改以較精密的空氣軸承設計、分析，並輔以MEMS製程製作其溝槽。 3 讀寫頭滑塊空氣軸承表面 ABS 之設計製作、模式建立、分析與模擬 建立MEMS製程 建立分子空氣潤滑模式 建立分析工具 code 建立模擬軟體 表面量測技術 使用現有的AFM與將購置的Wyko表面量測儀，用以建立粗糙度的模式，並加入分析工具中。另也將建立一套完善的AFM後處理程式，以期能良好建立AFM資料分析能力。 Reference [1] R. Oboe, “ME