高精度曝光机(A1).docVIP

电子 深圳 有限公司 作 业 指 导 书 文件编号 JU-WI-166 页 序 1 of 1 文件名称 高精度曝光机 修 订 履 历 版本 修改内容 修改人 审核 批准 修订日期 A 首版发行 A1 将设备维护保养项目由日、周、月保养更改为点检和定期认可，同时对保养内容作相应修改。 电子 深圳 有限公司 作 业 指 导 书 文件编号 JU-WI-166 版 本 A1 首版日期 文件名称 高精度曝光机 页 序 1 of 3 1. 目的 规范设备维护人员对高精度曝光机的点检、认可工作。 2. 适用范围 本作业指导书适用于高精度曝光机。 3. 职责 设备维护人员应按照作业指导书操作。 4. 作业内容 4.1 点检 4.1.1 机械系统 4.1.1.1检查传送导轮有无松动，运行是否平稳。 4.1.1.2检查平台升降系统是否正常，升降位置是否准确。 4.1.1.3检查平台整列PIN外观是否完好，整列位置是否准确，否则调节气缸位置。 4.1.1.4 检查抽风冷却系统工作是否正常，各抽风管是否完好。 4.1.1.5 检查铬板固定框架是否稳固，夹持气缸是否灵活，CCD镜头固定支架是否稳固，升降调节是否灵活。 4.1.2 电控系统 4.1.2.1检查各按扭开关控制是否灵活，各指示灯显示是否正常。 4.1.2.2 确认触摸屏显示与控