激光干涉仪原理及应用资料.doc

SJ6000激光干涉仪 激光干涉仪概述 SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光 双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、 高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各 种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(5~10分 钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输 出，采用不同的光学镜组可以测量出线性、角度、直线度、平面度和 垂直度等几何量，并且可以进行动态分析。  SJ6000激光干涉仪 SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测 速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可 以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的 测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测， 可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统 的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，  SJ6000激光干涉仪 为机床误差修正提供依据。 激光干涉仪性能特点 1.测量精度高、速度快，稳定性好 ①使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度 稳频(0.05ppm) ②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级 ③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。 ④