手套箱等设备技术参数doc.doc

手套箱等设备技术参数 主要技术要求及配置要求 设备名称及采购数量：手套箱3套，气体净化系统2套 技术： 　　： 　　箱体：304不锈钢 尺寸分别≥2000mm*1000mm，1500mm*780mm, 1500mm*780mm　　2、箱体泄漏率 0.05vol%/h； 　　3、微型过渡舱（长≥00mm，直径≥150 mm）T型过渡舱（长≥600mm，直径≥390mm）内滑盘；　　4、前窗面板为Lexan材质，厚度≥10mm，手套孔圈为POM材质； 　　防疲劳照明系统，防漫射功能安装于前窗顶部； 　　溴丁基橡胶手套，厚度≥0.4 mm，末端口径≥220 mm； 　　必须配置三层高度可调的搁物架　　HEPA过滤器的过滤级别可达H13，风速≥0.25米/秒，洁净度千级以上； 　　箱体出气口带有有机溶剂吸附装置； 　　箱体安装石英玻璃窗； 　　箱体底部配有支架和旋转脚轮，可微调水平。 　　气体净化系统　　水氧净化系统进口循环泵；净化柱自动再生程序；SUS304不锈钢管道； 　　可得气体纯度：水 1 ppm氧 1 ppm　　主控阀：MB EPV-40 VAT电磁气动阀　　PLC控制，箱体工作压力在+/-15 mbar范围内进行调节，带有可调节压力的脚踏开关　　配有真空泵，真空度2x10-3 mbar，抽速≥12 m3/h，原厂气镇和油雾过滤器；　　水探头检测范围0-500 ppm；耐腐蚀，PLC集成控制，灵敏度≥10 mv/ppm，精确度≥0.1 ppm，设计寿命5年以上； 　　氧探头检测范围0-1000 ppm；专为手套箱气氛设计，耐腐蚀PLC集成控制，灵敏度不低于10 mv/ppm，精确度不低于0.1 ppm，设计寿命5年以上； 　　有机溶剂吸附装置，5kg活性炭可更换，灰尘吸附功能，抽真空　　加热面板　　箱体内配备2个加热面板，参数如下： 　　加热输出功率≥1000 W ； 　　加热温度范围50-600 °C ； 　　带传感器控温精确度±3 K ； 　　介质温度稳定性±3 K ； 　　加热速度≥5 K/min。 　　系统集成要求： 　　3个箱体通过T型过渡舱连接成一套手套箱系统，3个舱门右侧配微型过渡舱。 二、配置要求： 　　集成气体净化系统　　个DN40KF法兰接口 　　BNC和BANANA插头位于箱体上 　　电路改造：符合设备及空调安装要求，配置多路接线插座 设备名称及采购数量：匀胶机1台 技术： 　　匀胶机定制，操作界面与手套箱底板融为一体，真空、补气管路与手套箱集成控制系统完全融为一体。所集成甩胶机参数如下： 　　匀胶机通过手套箱的PLC控制系统进行设置； 　　整机泄漏率 0.05vol%/h； 　　顶部带有透明密封罩； 　　处理尺寸 8的wafer或6x6的基片； 　　转速100~7000 rpm； 　　可编辑的程序菜单数量：10个； 　　主材质：耐绝大多数的有机溶剂； 　　速度阶段：0-10个阶段； 　　每阶段：0-999秒； 　　内置可更换式的防污染碗； 　　配有脚踏开关。 设备名称及采购数量：光刻机1台 技术： 　　曝光面积：≥150 mm×150 mm； 　　分辨力：≤0.8-1 μm（胶厚2μm的正胶）； 　　对准精度：±0.6 mm； 　　照明均匀性：±3%（f100 mm范围），±5%（f150 mm范围），±6%（150 mm×150 mm） 　　曝光波长：365 nm； 　　曝光能量密度：≥ 20 mW/cm2； 　　光源平行性：≤2度 　　最大胶厚：500 μm（SU8胶） 　　掩模相对于样片运动行程：X：±5 mm，Y：±5 mm，q：±6度； 　　曝光方式：定时和定剂量。 二、配置要求： 　　曝光头：包括冷光椭球镜、直流高压汞灯、三维汞灯调节台、光学系统、冷却系统。 　　对准系统：包括对准工件台、对准显微镜和CCD对准系统。 　　电控系统：包括单片机控制系统、计算机控制器及控制桌柜等。 　　气动系统：真空泵及相关配件等。 　　电路改造：符合设备及空调安装要求，配置多路接线插座。 ：加部分偏离