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基于Workbench的直梁型柔性铰链的应力分析 　　一、引言 　　近年来，由于先进加工技术的不断发展，微小器件的加工需求不断增加，可实现微小加工的载体平台慢慢地受到了人们的广泛关注。载体平台采用的是柔性铰链组成的运动副。由于其具有结构简单、无磨损、无空回、导向精度高、灵敏度高和易维护等诸多优点，被广泛应用于各种高精密仪器中，如陀螺仪、扫描式显微镜、超精密工作台、STM和超精密位移系统等。常见的柔性铰链有两种：直梁型柔性铰链和切口型柔性铰链，为了得到不同的精度和运动范围，有关学者提出了双曲线型柔性铰链、椭圆型柔性铰链和正圆型柔性铰链等。 　　柔性铰链在传动载荷的过程中，其内部会产生不同程度的工作应力，当工作应力过大时会导致柔性铰链不能正常工作。因此，在设计和选择柔性铰链时，要保证柔性铰链具备了足够的强度。本文利用有限元软件对直梁型柔性铰链的内部应力进行了研究，利用力学知识推导出了柔性铰链内部应力理论公式。通过建立三维实体有限元模型，验证其正确性；并通过改变柔性铰链的几何参数，分析其对直梁型柔性铰链的应力影响。 　　二、直梁型柔性铰链理论分析 　　1.物理模型 　　柔性铰链是利用材料的变形产生位移的一种特殊运动副。根据其切口的不同，可以分为双曲线型柔性铰链、直圆型柔性铰链、抛物线型柔性铰链和直梁型柔性铰链等，其基本形状如图1所示。 　　上述各类柔性铰链具有较好的特性，也存在着一些微小的差异。直梁型柔性铰链和其他两种柔性铰链相比，在相同的最小截面、载荷及边界条件下，变形量最大，即该结构对外部微小激励的响应最为敏感。同时，直梁型柔性铰链更容易设计加工。 　　2.内部应力公式推导 　　直梁型柔性铰链如图1所示，其中间部分是由两个矩形块对称切割而成，普遍适用于平动精密运动、弯曲精密运动以及扭转情况下工作；本文对直梁型柔性铰链在平动精密运动中的内部应力进行了分析，简化得到固定-导向物理模型。如图2所示，固定-导向物理模型中一端为固定刚体，一端为导向移动刚体，中间为直梁型柔性铰链。 　　为了便于分析，做出多种假设：（1）材料为均匀各向同性材料；（2）直梁型柔性铰链的变形是线弹性的，并且变形较小；（3）基于小变形悬臂梁理论，其一端固定，另一端受到力矩或是力；（4）直梁型柔性铰链的横截面只有正应力，没有剪应力，即其内部应力只存在弯曲正应力和拉压应力。 　　综上所述，直梁型柔性铰链结构及变形受力分析如图2所示。 　　固定-导向物理模型中，在导向移动刚体移动的过程中，直梁型柔性铰链发生变形弯曲。当导向移动刚体移动的距离为（有图片）时，直梁型柔性铰链内部会受到弯矩和力的作用。 　　根据力法方程，可以求得固定-导向柔性铰链两端所受 　　到的力与弯矩。其公式为： 　　（1） 　　（2） 　　联立方程（1）（2），根据边界条件，可以求解出柔性铰链两端受到的力与弯矩，如下： 　　（3） 　　（4） 　　从而推导出柔性铰链弯曲的挠度公式： 　　（5） 　　式中，E为材料的弹性模量；I为横截面的抗弯截面系数，其值为（有图片）； （有图片）为柔性铰链发生变形产生的最大位移量。 　　直梁型柔性铰链的应力由两部分组成，分别是弯曲正应力和拉伸应力。而弯曲正应力产生于直梁型柔性铰链距离中性层最远处，拉伸应力是因为直梁型柔性铰链在x方向上拉伸所产生的。基于以上推导公式，根据材料力学中弯曲应力的计算公式和拉伸应力计算公式，进一步推导出直梁型柔性铰链内部应力理论计算公式： 　　（6） 　　式中，t为柔性铰链的厚度。 　　利用matlab软件编制计算程序，可以方便快速地计算得到直梁型柔性铰链在产生位移时的最大应力值。 　　三、直梁型柔性铰链的有限元分析 　　直梁型柔性铰链的几何参数，厚度取值范围应选在0.3mm～0.5mm，长度的取值范围为10mm～15mm，宽度的取值范围为20mm～40mm。根据几何参数建立直梁型柔性铰链有限元模型，进行有限元分析，以验证所推导的应力理论公式的正确性。本文采用Workbench v12.1建立直梁型柔性铰链三维实体单元模型。 　　建立的直梁型柔性铰链有限元模型选择的材料属性如表1所示。 　　图3所示为直梁型柔性铰链有限元网格划分模型，其中固定刚体端和导向移动刚体端的网格划分相对粗略，主要是因为这部分不是主要的变形部分，对所求应力的影响非常小，可以忽略不计。而在直梁型部分以及直梁型部分和两端刚体端连接的地方，进行了网格的优化，从而使得仿真结果更精确。 　　如图4所示，以固定刚体端作为坐标原点，在导向刚体端添加力或力矩，y方向上移动50um的距离，进行仿真分析。从图4中可以看出最大应力值位于直梁部分离中性层最远处，与理论分析的结果一致。 　　四、有限元仿真结果分析 　　为了得到柔性铰链