表面技术分析.docVIP

教學大綱表 微電子所 009學年度 課程名稱 開課單位 Q1 中文 微電子所 英文 SURFACE CHARACTERIZATION TECHNIQUE 課程代碼 Q151900 授課教師 陳建瑞 開課年級 學分數 3 必/選修 選修 開課班級 不分班 先修科目或先備能力 NO 課程概述與課程目標 □ A. 應用數學、物理科學以及電機工程知識的能力。□ B. 設計及執行實驗，以及分析與解釋數據的能力。□ C. 執行工程實務所需之技術、技能以及現代工程工具運用之能力。□ D. 設計工程系統、元件或製程之能力。□ E. 有效溝通與團隊合作之能力。□ F. 發掘、分析以及解決工程問題之能力。■ G. 認識時事議題，瞭解工程技術對環境、社會以及全球之影響，並能持續學習之能力。■ H. 理解專業倫理以及社會責任之能力。 教科書 Surface Science Aspects of Current Semiconductor MaterialsSurface Science Aspects of Current Semiconductor Materials 課程大綱 分配時數 % 單元主題 內容綱要 講授 示範 習作 其它 註1 備註 表面技術概論? 分析 晶格結構介紹? 介紹各種不同 倒晶格? 認識何謂倒晶格 D 說明為何Diffraction即是Fourier Transformation Low Energy Electron Diffraction LEED 簡介 ?認識Low Energy Electron Diffraction LEED 原理及應用 Low Energy Electron Diffraction LEED 儀器構造 詳細說明Low Energy Electron Diffraction LEED 儀器構造 Low Energy Electron Diffraction LEED 的操作原理及分析 認識Low Energy Electron Diffraction LEED 的操作原理及分析 Reflection High Energy Electron Diffraction RHEED 簡介 ?認識Reflection High Energy Electron Diffraction RHEED 原理及應用 Reflection High Energy Electron Diffraction RHEED 儀器構造 詳細說明Reflection High Energy Electron Diffraction RHEED 儀器構造 Reflection High Energy Electron Diffraction RHEED 的操作原理及分析 認識Reflection High Energy Electron Diffraction RHEED 的操作原理及分析 Secondary Ion Mass Spectrometry SIMS 簡介 ?認識Secondary Ion Mass Spectrometry SIMS 原理及應用 Secondary Ion Mass Spectrometry SIMS 儀器構造 詳細說明三種不同Secondary Ion Mass Spectrometry SIMS 的儀器構造 Secondary Ion Mass Spectrometry SIMS 的操作原理及分析 認識三種不同Secondary Ion Mass Spectrometry SIMS 的操作原理及分析 教學要點概述 註2 可複選 1. 教材編選: ■ 自行製作 □ 教科書商提供 □ 其它: 2. 教學方法: ■ 投影片 □ 板書 □ 實習/實驗 □ 其它: 3. 評量方法: 考試 作業 □ 報告 □ 其它: 4. 教學資源: ■ 一般教室 □ 實驗室 □ 其它: 5. 教學相關配合事項: ■ 分組討論 □ 校外活動 □ 學校單位支援 □ 無 □ 其它: 註1: 其他欄包括參訪、專題演講等活動。註2: 教學要點請填寫教材編選、教學方法、評量方法、教學資源、教學相關配合事項等。