微光学元件复制技术简介解剖.ppt

微光学元件的复制技术 表面浮雕衍射光学元件 表面浮雕衍射光学元件（DOE）是利用衍射光学效应来实现其消色差，提高成像质量的一类浮雕光学元件。 光刻胶作为记录介质，实现了高衍射效率，深槽，表面浮雕的微观结构制作。 在热压印的情况下，深槽，高纵横比的立体全息图不能真实地再现；并在模制的紫外线固化液体树脂的情况下，在模具的深槽仍滞留紫外线固化树脂的残基。无法实现高的复制效率。 干性光聚合物紫外成型压模（DPE）技术 1948年在杜邦公司的实验室，第一个实用的干光聚合物由Louis Plambeck 博士发明。 此后各种干光聚合物薄膜对不同的应用进行了商业化。如杜邦公司的产品Dycryl，Lydel，Riston，Cromalin，Cyrel，是全球知名的贸易商标。 杜邦公司为实现对高衍射效率效，深槽、表面浮雕形的微光学元件高复制效率。推出了一种复制高衍射效率、高纵横比的浮雕形光学元件的干性光聚合物SURPHEXTM。 干性光聚合物SURPHEXTM 光聚合物成分在光敏聚合物层的重量比： 干性光聚合物SURPHEXTM 应用于高衍射效率、浮雕形微光学元件的干性聚合物还包括其他成分，如增塑剂，抗氧化剂、荧光增白剂，紫外辐射吸收材料，热稳定剂，氢供体和脱模剂。 干性光聚合物SURPHEXTM 几类干性光聚合物SURPHEXTM说明和潜在应用： 干性光聚合物SURPHEXTM膜的性能 SURPHEX膜厚度为25μm紫外到近红外的透射光谱 干性光聚合物SURPHEXTM膜的性能 厚度为25μm的SURPHEX固化膜的红外透射光谱 可见SURPHEXTM膜在波长500－2000nm范围内透过率为98％一99％，在2.5—25μm范围也具有较高的透过率。 所以，复制的微透镜可以应用于可见光、红外波段，透射性能良好。 干性光聚合物SURPHEXTM膜的性能 SURPHEX固化膜差分扫描热量曲线 SURPHEX固化膜差分扫描热量曲线分析 -40°C至+105°C固化SURPHEX膜之间的热稳定 在+110°C DSC薄膜样品开始软化 在+145°C，它成为微褐色，这可以归因于膜的153.57℃下的分解 DPE复制技术的工艺流程 首先在基底上压制SURPHEXTM膜，并去掉其表面的保护层； 然后进行压模使SURPHEXTM膜和印章紧密的结合在一起，压力大小与优化记录在压模的槽的宽/深比有关； 再对其进行紫外光曝光，5-15秒左右； 最后把印章和复制好的元件进行分离。 干性光聚合物SURPHEXTM复制品性能 复制品质量测试实验 DPE复制品在高速电机光学调准，通过电视监视器上观看交叉扫描点位置（200倍放大）。复制品在10.000 rpm的速度，在35℃下200小时恒温封闭箱每隔24小时测量下面数据，同时保持激光二极管和激光器温度常数： 1、目视检测DPE的复制品的物理变化； 2、三个方向点大小（微米）； 零度或交叉扫描 45度（顺时针方向） 90度或在扫描 3、衍射效率 4、点移动量 干性光聚合物SURPHEXTM复制品性能 SURPHEXTM复制品性能测试结果 干性光聚合物SURPHEXTM复制品性能 SURPHEXTM复制品加速寿命测试结果 谢谢