4金属薄膜电阻率的测量概述.doc

5金属薄膜电阻率的测量 实验目的 熟悉四探针法测量电阻率和薄层电阻的原理及测量方法。 了解影响电阻率的测量的各种因素及改进措施。 实验仪器 RTS-5型双电测四探针测试仪 实验原理 双电测组合四探针法采用了以下二种组合的测量模式（见图1） 将直线四探针垂直压在被测样品表面上分别进行I14V23和I13V24组合测量，测量过程如下：1. 进行I14V23组合测量： 电流Ｉ从１针→４针，从２、３针测得电压V23+；电流换向，Ｉ从４针→１针，从２、３针测得电压V23-；计算正反向测量平均值：V23＝(V23+＋V23-)／2；进行I13V24组合测量：电流Ｉ从１针→３针，从２、４针测得电压V24+； 电流换向，Ｉ从３针→１针，从２、４针测得电压V24-；计算正反向测量平均值：V24＝(V24+＋V24-)／2； 3. 计算（V23／V24）值； （以上V23、V24均以mV 为单位）4. 按以下两公式计算几何修正因子Ｋ： 若1.18＜（V23／V24）≤1.38 时； K＝－14.696＋25.173(V23／V24)－7.872(V23／V24)2；…(1) 若1.10≤（V23／V24）≤1.18 时； K＝－15.85＋26.15(V23／V24)－7.872(V23／V24)2；…(2) 5. 计算方块电阻R□： Ｒ□＝Ｋ·(V23／Ｉ) (单位：Ω／□)；…(3) 其中：