纳米电子鼻传感器设计【课程设计】—-毕业论文设计.docVIP

中北大学 课 程 设 计 说 明 书 学生姓名: 周明行 学 号： 32 学 院: 电子与计算机科学技术学院 专 业: 微电子学 题 目: 纳米电子鼻传感器设计 ? ? 指导教师： 谭秋林 职称: 副教授 2013年6月3日 目 录 1、、设计内容要求2.1、2.2、、设计方案、2、工作原理及图3.3、、、 5、参考文献 1.设计目的 （1）学习纳米电子鼻传感器的工作原理。 （2）掌握纳米电子鼻传感器制作过程。 （3）掌握纳米电子鼻传感器信号的读取方法。 2.设计内容和要求 （1）查阅相关资料，提出相应设计方案。 （2）选择适当的材料设计该传感器。 （3）在设计过程中，进行相应的计算和分析。 （4）能够实现该气体传感器的信号的正常读取。 （5）整理设计内容，编写设计说明书 3.设计方案及实现情况 3.1纳米电子鼻传感器简介 电子鼻，又称人工嗅觉系统，是模拟生物嗅觉系统而设计的一种智能电子“嗅觉”仪器，电子鼻技术涉及材料、化学、传感器、信息融合、电子技术、模式识别、计算机、应用数学以及应用领域的科学与技术的一门综合性技术。主要用来分析、识别和检测挥发性化学物质、复杂气味和有毒气体。 电子鼻这个术语出现在80年代晚期，1987年它被专门用于一个会议[]，1989年北大西洋公约组织召开了关于化学传感器信息处理的高级专题讨论会[]，会议上对电子鼻做了如下定义:“电子鼻是由多个性能彼此重叠的气敏传感器和适当的模式分类方法组成的具有识别单一和复杂气味能力的装置”随后，在1990年举行了第一届电子鼻国际学术会议，最大规模的一届会议于1997年在美国的圣地亚哥召开。此后，各国学者对电子鼻的性能、标准、设计方法和相关技术做了广泛的研究，在各种化学传感器基本理论研究和实际应用方面均取得了很大的进展，有关的应用及仪器报道也相当可观[]。 气体 气体／气味 气味 定性／定量 图1.1 电子鼻系统组成 (1)气敏传感器阵列，相当于初级嗅觉神经元，由具有广谱响应特性的气敏元件组成。气敏传感器阵列可以采用数个单独的气敏传感器组合而成，也可以采用集成工艺制作的专用气敏传感器阵列。电子鼻就是利用传感器阵列的交叉敏感特性，通过模式识别技术来实现对混合气体的检测。 (2)信号预处理单元，相当于二级嗅觉神经元，它对传感器阵列的响应模式进行预加工，完成特征信号的提取。 (3)模式识别单元，相当于动物和人类的大脑，它运用一定的算法完成对气味气体的定性或定量辨识。目前，在电子鼻系统中采用的模式识别算法主要有:主成分分析法、最小二乘法、聚类方法、人工神经网络法、模糊逻辑法等。 电子鼻系统设计 .1系统结构 如图1.2 各模块的主要功能如下： ：主要气敏传感器 （2）信号调理模块：主要是将气敏传感器电阻的变换转换成电压的变化，并设计模拟开关，在控制器控制下分时选通3路传感器，依次将代表气味响应强度的电压值送入AD转换电路，这样只需要占用1个AD口，也便于数据的打包处理。另外，此模块还设计了高通滤波电路，滤除高频干扰。 （3）温湿度传感器模块：在气敏传感器阵列外部添置了温湿度传感器AM2302，主要是因为温湿度对气敏传感器阵列输出信号有一定的影响，在后期建立数据处理时将环境的温湿度作为输入参量对识别模型进行校正。 （6）电源：设计稳定可靠的电源电路，提供系统电源， (7）：实时显示.3.2气敏传感器的设计（电子鼻核心部件） 气敏传感器与人们生活、生产活动关系最为密切，因此气敏传感器的研究及开发在各类传感器中最为活跃。目前，已开发出了氧化物半导体、固体电解质、有机半导体、石英振子、场效应、热催化、表面声波、光学等各种类型的气敏传感器。气体敏感元件是能感知环境中某种或多种气体及其浓度的一种器件，它能将气体种类及其浓度有关的信息转换成电信号(电压或电流)，根据这些电信号的强弱就可以获得与待测气体在环境中存在的情况有关的信息，从而进行检测、监控、报警等，还可以通过接口电路与计算机或者微处理器组成自动检测、控制和报警系统[]。它主要包括半导体气敏传感器、接触燃烧式气敏传感器和电化学气敏传感器等，其中用的最多的是半导体气敏传感器。 半导体气体敏感元件大多以金属氧化物半导体为基础材料，当被测气体在该半导体表面吸附后，其电学特性(例如电导率)将会发生变化。利用这种现象制作的各种半导体气敏元件早己商品化，其应用领域正日益扩大。常见的SnO2系列气敏元件有烧结型、薄膜型和厚膜型三种，烧结型气敏元件是目前工艺最成熟、应用最广泛的气敏元件。按加热方式不同，又分为直热式和旁热式两种结构[]。 下面是半