AOI高级理论训即使用技巧.pptVIP

* 线宽参数 7 mil 实际线宽 MIN LINE = 6 mils Pixel size = 0.75 mil 2 mil 线宽 如果实际线路宽度比最小线宽参数小则报告为缺点。 最小线宽 正常线宽 AOI * 间距参数 目 的: 参数设置: 正常间距 最小间距 找出任何两铜面之间有间距不足的地方. AOI * 二：导体边缘处较小缺口或导体之间因腐蚀不净造成间距减少的漏失 2在资料制作时，所选用的解析度的大小会直接影响该料号的检测精度和产量，解析度值越大，分辨率越低，侦测能力越弱。反之，解析度值越小，分辨率越高，侦测能力越强。具体的解析度与分辨率的对应关系如下图： Normal 高分辨率 （解析度值小） 低分辨率（解析度值大） * 二：导体边缘处较小缺口或导体之间因腐蚀不净造成间距减少的漏失 1解析度大小的优缺点及设定 解析度越小侦测能力较高，但不是越小越好，解析度小扫描速度也越慢，内部逻辑的时间会越长，假缺陷也会增多，影响设备的产能。通常我们所选用的解析度采用以下原则：分辨率为最小/线宽线距的十分之一（取较小值） * 二：导体边缘处较小缺口或导体之间因腐蚀不净造成间距减少的漏失 1：报线宽假点的处理方法：一般如无报线距假点，最小线宽值应尽量打大，加强对突铜的侦测。 任何缺陷的侦测，首要前提要有该缺陷的扫描图像，以扫描图象为标准。 标准图象