第5章频率式和数字式传感器.pptVIP

5.5.2 莫尔条纹的形成原理与特点 　　1. 莫尔条纹的形成原理 　　按照光学原理，对于栅距远大于光波长的粗光栅，可以利用几何光学的遮光原理来解释莫尔条纹的形成。如图5-9所示， 当两个有相同栅距的光栅合在一起， 其栅线之间倾斜一个很小的夹角θ，于是在近乎垂直于栅线的方向上出现了明暗相间的条纹。 例如在h-h线上， 两个光栅的栅线彼此重合，从缝隙中通过光的一半， 透光面积最大，形成条纹的亮带；在g-g线上， 两光栅的栅线彼此错开， 形成条纹的暗带； 当a=b= W/2时， g-g线上是全黑的。 图5-9 莫尔条纹原理 （a） 莫尔条纹的形成； （b） 莫尔条纹的宽度 　　2. 莫尔条纹的宽度 　　横向莫尔条纹的宽度B与栅距W和倾斜角θ之间的关系， 可由图5-9（b）求出（当θ角很小时）： （5-5） 　　3. 莫尔条纹的特点 　　式（5-5）说明莫尔条纹具有以下特点： 　（1） 对位移的光学放大作用：即把极细微的栅线放大为很宽的条纹，便于测试。例如θ=10′，则　　　　， 若W=0.01 mm,则B=3.34 mm。  　（2） 连续变倍的作用： 其放大倍数可通过使θ角连续变化， 从而获得任意粗细的莫尔条纹。 　　（3） 对光栅刻线的误差均衡作用： 光栅的刻线误差是不可避免的。 由于莫尔条纹是由大量栅线共同组成的， 光电元件感受的光通量是其视场覆盖的所有光栅光通量