一体式扩散泵高真空机组设计.ppt

一体式扩散泵高真空机组设计指导教师：郑锦华 教授 院系：化工与能源学院 专业：热能与动力工程 学生：李东耀 学号：20080390109 研究背景 真空镀膜技术是当今重要的高新技术之一，相对于传统材料制备技术，真空镀膜技术能制备多种新型功能材料，满足特殊条件和功能需求。 高真空镀膜技术的迅速发展，相应对真空镀膜设备的设计要求不断提高，现阶段对高真空镀膜技术的研究不多，特别对镀膜质量有更高要求的高真空镀膜技术和设备在国内的研究更少。 研究意义 真空室是实现执行真空镀膜工艺的直接场所，其结构设计是否合理不仅直接影响到安全可靠性，而且也直接关系到膜的质量和性能。因此设计出一套合理的高真空系统，对镀膜的成功起到关键的作用。 本文拟设计一套以扩散泵为主泵，旋片泵为前级泵的一体式高真空系统，来满足真空镀膜的要求。 目录 1.综述（真空镀膜的介绍，真空系统简介） 2.高真空系统的选型、密封及材料的选择 3.真空室的设计计算 4.高真空系统的设计计算 5.结论 真空室的设计 系统计算小结 1.真空室放气量Q0为1.75×10-2 Pa?L/s，由此计算出扩散泵的有效抽速Se为350L/s，粗算扩散泵的实际抽速S1为1225L/s。 2.根据粗算的抽速，初步选用沈阳蓝菱真空设备制造公司生产的K-200型高真空油扩散泵作为主泵，据此得到主泵入口的尺寸DN200，从而确定真空室出口管道的尺寸为DN200，由此计算出真空室出口到扩散入口的总流导U=496L/s。 3.根据粗算的抽速和管道的总流流导U，精算主泵抽速为1189L/s，由此验证初选的扩散泵抽速1500L/s符合实际要求。 4.确定扩散泵（主泵）型号后，根据经验公式计算和实际需要，确定选用上海真空泵厂生产的2X-30旋片式真空泵作为前级泵。 5.确定了扩散泵和旋片泵的型号后，我们根据旋片泵的特性曲线，计算出出抽真空的时间约3min，在初抽时间上验证选用的旋片泵满足要求。最后有根据材料的出气率和扩散泵的有效抽速估算出精抽真空在30min内就可以实现。 真空系统的安装布局 结论 通过分析计算和结构设计，本文设计出一套以扩散泵（K-200）为主泵，以旋片泵（2X-30）为前级泵，扩散泵入口设有百叶窗型冷阱，前级泵入口设有电磁挡油阀，可以实现在容积为0.17m3内真空室极限真空达到5×10-5Pa，配有高低真空测量仪器及其他附件，能提供真空镀膜设备所需真空度的高真空系统。