目录 一、电容式传感器的工作原理及分类 由物理学可知,两块平行金属板构成的电容器,其电容量C为 Page ? * 电容式传感器 一、电容式传感器的工作原理及分类 四、电容式传感器的研究现状 三、电容式传感器在应用中的注意事项 二、电容式传感器的测量电路 总得来说,电容式传感器是将被测量的变化转换成电容量变化的器件 其测量原理可表示为: 1.1 极距变化型电容传感器 极距变化型电容传感器的特点:动态特性好,灵敏度和精度较高(可达纳米级),适用于较小位移的精密测量,一般用来测量微小的线位移或由于力、压力、振动等引起的极距变化。 1.2 面积变化型电容传感器 1.2.1直线位移型 当动板沿x方向移动时,相互覆盖面积发生了变化,电容量随之改变,其输出特性为: 1.2.2 角位移型 当动板转动一角度时,与定板之间的覆盖面积就发生变化,导致电容量随之改变。 虽然面积变化型电容传感器在理想情况下灵敏度为常数,不存在非线性误差,但实际上因为电场边缘效应的影响仍存在一定的非线性误差,且灵敏度较低。 面积变化型一般用于测量角位移或较大的线位移。 1.3 介质变化型电容传感器 介质变化型常用于物位测量和各种介质的温度、密度、湿度的测定。 二、电容式传感器的测量电路 电容传感器将被测物理量转换为电容量的变化后,由后续电路转换为电压、电流或频率信号。 2.1 电桥型电路 将电容传感器作为桥路的
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