实验六PSD位置传感器实验.docVIP

实验十 PSD位置传感器实验 [实验目的] 了解一维PSD光电位置敏感器件的原理与应用。 [实验内容] 使用一维PSD测量输出电压与位移的关系。 [实验仪器] ZY13OFSens12SB 主机箱 一台 PSD 传感器实验模板 一个 PSD 传感器及位移装置 一套 导线 若干 [实验原理] PSD为一具有PIN三层结构的平板半导体硅片。其断面结构如图11-1所示，表面层P为感光面，在其两边各有一信号输入电极，底层的公共电极是用与加反偏电压。当光点入射到PSD表面时，由于横向电势的存在，产生光生电流Io，光生电流就流向两个输出电极，从而在两个输出电极上分别得到光电流I1和I2，显然。而I1和I2的分流关系则取决于入射光点到两个输出电极间的等效电阻。假设PSD表面分流层的阻挡是均匀的，则PSD可简化为图11-2所示的电位器模型，其中、为入射光点位置到两个输出电极间的等效电阻，显然、正比于光点到两个输出电极间的距离。 因为 所以可得 当入射光恒定时，恒定，则入射光点与PSD中间零位点距离X与成线性关系，与入射光点强度无关。通过适当的处