低正向壓降整流器的设计与工艺研究.docxVIP

PAGE PAGE 3 抗高温低正向压降大功率整流器的设计与工艺研究 The New Generation Nano-Level Integrated Circuit Virtual Manufacturing System-Sentaurus Workbench 作者 作者英文 海湾电子（山东）有限公司 山东济南 250100 Gulfsemiconductor （shandong）Co.,Ltd Jinan Shandong 250100 摘 要:： 首先介绍了Synopsys Inc.新近推出的新一代纳米级TCAD仿真平台－Sentaurus Workbench（SWB）的功能和特点，重点对SWB的优化机制和典型纳米NMOS的工艺参数在SWB环境下优化进行了较为详细的介绍。 关键词： 集成电路；纳米层次；虚拟工厂；工艺优化；可制造性设计 Abstract： The article introduces the structure and characteristic of the new generation TCAD simulation platform Sentaurus Workbench, and emphatically introduces optimization mechanism and op