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成像系统中的物镜、中间镜和投影镜 透射电镜的观察记录系统 主要部件结构和工作原理 燕山大学 材料电子显微分析 主要内容 成像系统主要由物镜、中间镜和投影镜组成 物 镜 1.用来获得第一幅高分辨率电子显微图像或电子衍射花样的透镜。电镜的分辨率主要取决于物镜。 2.物镜通常为强激磁、短焦透镜（f = 1-3mm）,放大倍数100—300倍。 3.为进一步减小物镜球差，在物镜后焦面上安放物镜光阑。 燕山大学 材料电子显微分析 透射电镜的成像系统 L1 f L2 B L 加极靴 加铁壳 短线圈 a b c d 物镜的分辨率主要决定于极靴的形状和加工精度，极靴间距越小，分辨率就越高。目前，高质量的物镜其分辨率可达0.1nm。 燕山大学 材料电子显微分析 物镜成像原理 阿贝成像原理 （1）入射束与周期结构试样作用，形成一系列平行束。 （2）各平行束在物镜的后焦面交于一点，各点为子波源发射子波。 （3）各子波在像平面干涉成像 燕山大学 材料电子显微分析 中间镜： 中间镜是弱磁透镜，其焦距较长，并且可以激磁改变，通过调节电流可改变放大倍数。倍率在0～20内变化。 作用: 1. 控制电镜总放大倍数 2.?成像/衍射模式选择 燕山大学 材料电子显微分析 高倍放大 试样 物镜 中间镜 投影镜 荧光板 中间镜MI1,中间镜起放大作用。当MI1时起缩小作用。在电镜操作过程中，利用中间镜的可变倍率来控制电镜的总得放大倍数，可实现几千倍到上百万倍的方便切换。 低倍放大 试样 物镜 中间镜 投影镜 荧光板 图像观察和电子衍射转换 燕山大学 材料电子显微分析 选区电子衍射 试样 物镜 选区光阑 中间镜 投影镜 荧光板 减弱电流，增大物距，使中镜物面与物镜后焦面重合，将衍射花样投倒像面上，实现衍射。 物镜像平面 燕山大学 材料电子显微分析 投影镜 投影镜的作用是把中间镜的像进一步放大，并且投影到荧光板上， 它是一个短焦距、强磁透镜，激磁电流是固定的。投影镜内孔径较小，使电子束进入投影镜, 孔径角很小。 小孔径角有两个特点： 景深大，改变中间镜放大倍数，使总倍数变化大，也不影响图像清晰度 焦距长，放宽对荧光屏和底片平面严格位置要求 燕山大学 材料电子显微分析 观察和记录系统 荧光板 观察系统 CCD相机（可以称为CCD图像传感器） 底片 记录系统 CCD相机 在暗室显影、定影 图像胶片 扫描 数