扫描电镜的电子枪的选择.docVIP

扫描电镜的电子枪的选择 电子枪： （1）现代SEM要求分辨率为纳米级别，高电流，小探针大小，有效的低电压操作。 （2）这些需求使钨灯丝电子枪SEM无法跻身于高端SEM行列。 （3）因此现在所有高性能SEM，都采用一些更先进的电子发射源形式。 （4）钨灯丝电镜的价格仍然较便宜，并能满足多种应用需求。 如何选择我们所需的SEM？ FEG SEM不仅能提供高分辨率，还具有更多的高性能。 这意味着大探针电流（这对于EDS和EBSD分析很重要），小的电子探针直径（1nm -3nm）和大能量范围（0.5-30keV） FEG SEM的高性能包括发射枪和电子探针形成的透镜。 FEG与钨灯丝的最大区别就是低电压下的分辨率不同。 一台FEG SEM 的价格最贵可达钨灯丝价格的两倍。 发夹式钨灯丝 电子发射源是决定电镜整体性能的关键。 很长时间以来都是在采用这种发夹式钨灯丝。 位于能量势垒顶端的电子线圈——电流强度Jc取决于加热的温度。 Jc=AT2exp(-ef/kT) 这类灯丝价格较便宜，对真空度的要求不是很高，不需用离子泵。 冷场发射源（FEG） 通过使用一个锐利尖晶（100nm）和高电压（3-4kv）获得高势场, 使电子从钨线圈中下来 Jc=AF2/f.exp(-Bf 1.5/ F) 上面这个等式说明输出的电子与加热温度无关，因此称为“冷场” 要求具有超高真空度，但使用寿命