第五章、真空系统o设计-2.pptVIP

光学材料可选Kodial玻璃、石英、蓝宝石、特殊玻璃材料(例如硒化锌，氟化镁等)及有光学镀层的7980高纯熔融石英（专用于传输激光）。 3、真空卫生 4.1材料表面常见的污染形式 4.2 材料表面净化 4.3表面净化处理的基本方法 4.4 放电清洗 4.5气体冲洗 4.6 非金属材料的清洗 4.7清洗的基本程序 4.8清洗注意事项 4.9清洁零件的存放 3.1材料表面常见的污染形式 环境空气中的尘埃和抛光残渣及其它有机物等； 水基类:操作者的手汗、吹气时的水汽、唾液等； 表面氧化物：材料长期放置在空气中或放置在潮湿空气中所形成的表面氧化物； 酸、碱、盐类物质：清洗时的残余物质、手汗、水中的矿物质等； 油脂：加工、装配、操作时沾染上的润滑剂、切削液、真空油脂等。 3.2 材料表面净化 表面净化：在真空工艺进行前，先从工件或系统材料表面清除所不期望的物质的过程 净化的目的：为了改进真空系统中所有器壁和其他组件表面在各工作条件下的工作稳定性 清洁表面的分类：原子级清洁表面；工艺技术上的清洁表面。 3.3表面净化处理的基本方法 溶剂清洗（最普遍） 软化水或含水系统；无水有机溶剂；石油分馏物；乳状液或溶剂蒸气；金属清洗剂 超生清洗（清除较强粘附污染） 蒸气脱脂清洗（简单、大批量） 清除基片表面油脂膜和类油脂膜等氢化物 电解侵蚀清洗 缩短侵蚀时间，减少溶液的消耗量 加热和辐照清洗 将工件放置于常压或真空中加热，促使表面上的挥发杂质蒸发来达到清洗的目的。 3.4 放电清洗 应用于高真空、超高真空系统的清洗除气。 3.5 气体冲洗 氮气冲洗：在系统中通入干燥的氮气，因为氮气在材料表面吸附时，吸附热小，吸留时间短。 3.6 非金属材料的清洗 玻璃陶瓷的清洗 溶剂清洗 塑料与橡胶的清洗 特殊清洗 污染物的确定 清洗方法的确定 清洗溶剂的选择 3.7 涤清洗的基本程序 3.8 清洗注意事项 有序操作 3.9 清洁零件的存放 尽可能缩短暴露大气； 储存容器必须与零件一样清洁； 已净化的零件严禁用手触摸。 4、真空系统的设计计算 4.1 气体负荷的计算 真空室内总气体负荷 漏气流量的计算 放气流量的计算 方法 渗透气体流量的计算 工艺工程中真空室内产生的气体流量的计算 4.2 抽气时间和压强的计算 低真空抽气时间的计算 高真空抽气时间的计算 真空室的极限压强 真空室的工作压强 抽气过程中真空室的压强 4.3真空泵的选择与匹配计算 主泵的选择与计算 前级真空泵(预抽泵)的选择与计算 4.4 真空系统的结构设计 4.5 真空系统的安装调试与操作维护 4、真空系统的设计计算 事例: 设计一台有油真空系统。真空室的直径为100cm容积为V＝1.5m3，内表面积为7.5m2。真空室材料为不锈钢 [1小时后的出气率为2.3×10-5 Pa.L/(s.cm2)， 2时后的出气率为1.5×10-5Pa·L／(s.cm2)]。 真空室工作压强为p＝1.3×10-3Pa， 真空室工艺过程中放出的气体量Q1＝1.3 Pa·L/s， 系统的总漏气量Q2＝6.7×10-1 Pa·L/s； 被抽气体为20°C干燥空气； 返流油蒸汽对工艺过程有害。 计算过程 确定真空室中保持1.3×10-3Pa的工作压强所需要的真空系统的有效抽速S 根据要求的工作压强及使用要求，选油扩散泵作为主泵 计算扩散泵与真空室排气口间管路的流导，验证选K-600型扩散泵是否合适。 计算前级泵真空管路 计算抽气时间 确定真空室中保持1.3×10-3Pa的工作压强所需要的真空系统的有效抽速S 为了可靠起见，增大20% 取：3388L/s 根据要求的工作压强及使用要求，选油扩散泵作为主泵 山型挡板+高真空挡板阀； 一般泵的有效抽速约为泵的抽速的三分子一； 选抽速为10000L/s的扩散泵（K-600）试算； 抽气速率L/s） 最大反压强(Pa) 极限压强(Pa) 进气口直径(mm) 推荐前级泵抽速(L/s) K-600 12500 40 7*10-5 600, 70 主要考虑管道3，阀门4、挡板5的流导； 确定气体流动状态：当真空室达到1.3×10-3 Pa压强时，平均压强为： 分子流 计算总流导C 计算扩散泵的抽速SP 分子流 计算前级泵真空管路 在2.7*10-2Pa下，扩散泵的最大排气量为： 前级泵的抽速不得低于： 前级管道的平均压强： 粘滞流 通常将Sp增大1.5~3倍，选泵。 2X-30型机械泵 计算抽气时间 忽略管道的容积，利用2X-30型机械泵从大气抽到13.3Pa， 其抽速为30L/s 粗抽时间不大于10~30分钟，故可行 13.3Pa~1.3*10-3的抽