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LED製程初步介紹.doc
LED製程
發光二極體是一種特殊的二極體。和普通的二極體一樣,發光二極體由半導體晶片組成,這些半導體材料會預先通過注入或摻雜等工藝以產生pn結結構。與其它二極體一樣,發光二極體中電流可以輕易地從p極(陽極)流向n極(負極),而相反方向則不能。兩種不同的載流子:電洞和電子在不同的電極電壓作用下從電極流向pn結。當電洞和電子相遇而產生複合,電子會跌落到較低的能階,同時以光子的方式釋放出能量。
它所發出的光的波長,及其顏色,是由組成pn結的半導體物料的禁帶能量所決定。由於矽和鍺是間接禁帶材料,在這些材料中電子與電洞的複合是非輻射躍遷,此類躍遷沒有釋出光子,所以矽和鍺二極體不能發光。發光二極體所用的材料都是直接禁帶型的,這些禁帶能量對應著近紅外線、可見光、或近紫外線波段的光能量。
材料
藍光與白光LED
以下是發光二極體的無機半導體原料及發光顏色:
單色 多原色/闊頻段 紫 白 顏色 λ波長(nm) 正向偏壓(V) 半導體 物質符號 正向偏壓(V) 構成 正向偏壓(V) 構成 紅外線 760 1.9 砷化鎵鋁砷化鎵 GaAsAlGaAs 2.48-3.7 紅LED + 藍LED藍LED + 紅磷白LED + 藍色濾光器 2.9 - 3.5 藍LED + 黃磷紫外線LED + 黃磷紅LED + 綠LED + 藍LED 紅 760至610 1.63-2.03 鋁砷化鎵砷化鎵磷化物磷化銦鎵鋁磷化鎵(摻雜氧化鋅) AlGaAsGaAsPAlGaInPGaP:ZnO 橙 610至590 2.03-2.10 砷化鎵磷化物磷化銦鎵鋁磷化鎵(摻雜?) GaAsPAlGaInPGaP:? 黃 590至570 2.10-2.18 砷化鎵磷化物磷化銦鎵鋁磷化鎵(摻雜氮) GaAsPAlGaInPGaP:N 綠 570至500 2.18-4 銦氮化鎵/氮化鎵磷化鎵磷化銦鎵鋁鋁磷化鎵 InGaN/GaNGaPAlGaInPAlGaP 藍 500至450 2.48-3.7 硒化鋅銦氮化鎵碳化矽矽(研發中) ZnSeInGaNSiCSi(研發中) 紫 450至380 2.76-4 銦氮化鎵 InGaN 紫外線 380 3.1-4.4 碳(鑽石)氮化鋁鋁鎵氮化物氮化鋁鎵銦 C(diamond)AlNAlGaNAlGaInN LED製程初步介紹
在LED工廠生產中主要步驟是:清洗-裝架-壓焊-封裝-銲接-切膜-裝配-測試-包裝。其中封裝工藝尤為重要,目前LED的製程情形。
一、晶片檢驗 鏡檢:材料表面是否有機械損傷及細微的坑洞。
二、擴片 由於LED晶片在劃片後依然排列緊密間距很小(約0.1mm),不利於後工序的操作。我們採用擴片機對黏結晶片的膜進行擴張,是LED晶片的間距拉伸到約0.6mm。也可以採用手工擴張,但很容易造成晶片掉落浪費等不良問題。
三、點膠在LED支架的相應位置點上銀膠或絕緣膠。(對於GaAs、SiC導電襯底,具有背面電極的紅光、黃光、黃綠晶片,採用銀膠。對於藍寶石絕緣襯底的藍光、綠光LED晶片,採用絕緣膠來固定晶片。)製程難點在於點膠量的控制,在膠體高度、點膠位置均有詳細的製程要求。
四、備膠 和點膠相反,備膠是用備膠機先把銀膠塗在LED背面電極上,然後把背部帶銀膠的LED安裝在LED支架上。備膠的效率遠高於點膠,但不是所有產品均適用備膠製程。
五、手工刺片 將擴張後LED晶片(備膠或未備膠)安置在刺片台的夾具上,LED支架放在夾具底下,在顯微鏡下用針將LED晶片一個一個刺到相應的位置上。手工刺片和自動裝架相比有一個好處,便於隨時更換不同的晶片,適用於需要安裝多種晶片的產品。
六、自動裝架 自動裝架其實是結合了沾膠(點膠)和安裝晶片兩大步驟,先在LED支架上點上銀膠(絕緣膠),然後用真空吸嘴將LED晶片吸起移動位置,再安置在相應的支架位置上。自動裝架在工藝上主要要熟悉設備操作編程,同時對設備的沾膠及安裝精度進行調整。在吸嘴的選用上儘量選用膠木吸嘴,因為鋼嘴會劃傷晶片表面的電流擴散層。
七、燒結 燒結的目的是使銀膠固化,燒結要求對溫度進行監控,防止批次性不良。 銀膠燒結的溫度一般控制在150,燒結時間2小時。根據實際情況可以調整到170,1小時。絕緣膠一般150,1小時。銀膠燒結烘箱的必須按工藝要求隔2小時(或1小時)打開更換燒結的產品,中間不得隨意打開。燒結烘箱不得再其他用途,防止污染。
八、壓焊壓焊的目的將電極引到LED晶片上,完成產品內外引線的連接工作。LED的壓焊工藝有金絲球焊和鋁絲壓焊兩種。壓焊是LED封裝技術中的關
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