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材料现代分析方法 材料化工学院 第八章 透射电子显微镜 §1 透射电镜的整体构造及工作原理 §2 透射电镜的主要部件及工作原理 §1 透射电子显微镜工作原理及构造 由三部分组成： 电子光学系统（镜筒）－核心 电源与控制系统 真空系统 光学显微镜: 可见光作照明束; 玻璃透镜; 像分辨. 光学显微镜与透射电镜的比较 §1 透射电子显微镜工作原理及构造 一、构造 由照明、成像、记录、真空与电器系统组成。 1．电磁透镜 通过调节激磁电流，方便地调节磁场强度，从而调节焦距和放大倍数． §8.1 透射电子显微镜工作原理及构造 1)电 子 枪－透射电子显微镜的电子源 灯丝 2) 聚光镜 聚光镜－会聚电子枪射出的电子束，以最小的损失照明样品，调节照明强度、孔径角和束斑大小。一般都采用双聚光镜系统。 第一聚光镜－强激磁透镜，束斑缩小率为10～50倍左右，将电子枪第一交叉点束斑缩小为1～5μm； 第二聚光镜－弱激磁透镜，适焦时放大倍数为2倍左右。结果在样品平面上可获得2～10μm的照明电子束斑。 3．成像系统 透射电镜入射电子束有两种主要形式： 平行束和会聚束 前者用于成像及衍射， 后者用于成像、微分析及微衍射． §8.1 透射电子显微镜工作原理及构造 3．成像系统 由物镜、中间镜和投影镜组成。 将衍射花样或图像投镜到荧光屏上。 照明系统 成像系统:聚光镜与物镜之间放置样品 成像系统 成像系统主要由物镜、中间镜和投影镜组成。 （1）物镜 用来形成第一幅高分辨率电子显微图像或电子衍射花样的透镜。 透射电子显微镜分辨本领的高低主要取决于物镜。因为物镜的任何缺陷都被成像系统中其它透镜进一步放大。欲获得物镜的高分辨率，必须尽可能降低像差。通常采用强激磁，短焦距的物镜。 是强激磁短焦距的透镜，放大倍数较高，一般为100-300倍。目前，高质量的物镜其分辨率可达0.1nm左右。 1)物 镜 物镜的分辨率主要取决于极靴的形状和加工精度。极靴的内孔和上下级之间的距离越小，物镜的分辨率越高。 为了减少物镜的球差，往往在物镜的后焦面上安放一个物镜光阑。物镜光阑不仅具有减少球差，像散和色差的作用，而且或以提高图像的衬度。 此外，物镜光阑位于后焦面的位置上时，可以方便的进行暗场及衬度成像的操作。 在用电子显微镜进行图像分析时，物镜和样品之间和距离总是固定不变的，（即物距L1不变）。因此改变物理学镜放大倍数进行成像时，主要是改变物镜的焦距和像距（即f 和 L2）来满足成像条件。 2）中间镜 弱激磁的长焦距变倍透镜，可在0-20倍范围调节。当M1时，用来进一步放大物镜的像；当M1时，用来缩小物镜的像。在电镜操作过程中，主要是利用中间镜的可变倍率来控制电镜的放大倍数。 如果把中间镜的物平面和物镜的像平面重合，则在荧光屏上得到一幅放大像，这就是电子显微镜中的成像操作，如图a。如果把中间镜的物平面和物镜的后焦面重合，则在荧光屏上得到一幅电子衍射花样，这就是电子显微镜中的电子衍射操作，如图b。 3）投影镜 作用是把经中间镜放大（或缩小）的像（电子衍射花样）进一步放大，并投影到荧光屏上，它和物镜一样，是一个短焦距的强磁透镜。投影镜的激磁电流是固定的。因为成像电子束进入投影镜时孔镜角很小（约10-3rad）,因此它的景深和焦距都非常大。即使改变中间镜的放大倍数，使显微镜的总放大倍数有很大的变化，也不会影响图像的清晰度(why?)。有时，中间镜的像平面还会出现一定的位移，由于这个位移距离仍处于投影镜的景深范围之内，因此，在荧光屏上的图像仍旧是清晰的。 成像系统 高性能的透射电镜大都采用5级透镜放大，即中间镜和投影镜有两级，分第一中间镜和第二中间镜，第一投影镜和第二投影镜。 观察和记录装置包括荧光屏和照相机构，在荧光屏下面放置一下可以自动换片的照相暗盒。照相时只要把荧光屏竖起，电子束即可使照相底片曝光。由于透射电子显微镜的焦长很大，虽然荧光屏和底片之间有数十厘米的间距，仍能得到清晰的图像 透射电镜的结构 图5-11是透射电镜的外观照片。 通常透射电镜由电子光学系统、电源系统、真空系统、循环冷却系统和控制系统组成，其中电子光学系统是电镜的主要组成部分。 透射电镜的结构 图5-12是电子光学系统的组成部分示意图。由图可见透射电镜电子光学系统是一种积木式结构，上面是照明系统、中间是成像系统、下面是观察与记录系统。 样品台的作用是承载样品，并使样品能作平移、倾斜、旋转，以选择感兴趣的样品区域或位向进行观察分析。透射电镜的样品是放置在物镜的上下极靴之间，由于这里的空间很小，所以透射电镜的样品也很小，通常是直径3mm的薄片。 样品台与试