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真空技术基础 教 材: 《真空技术》， 王晓冬、巴德纯、张世伟、张以忱， 冶金工业出版社，2006年 参考教材: 1、《真空技术》，戴荣道，电子工业出版社，1986年 2、《真空技术》，王欲知，四川科学技术出版社，1985年 3、《真空技术物理基础》，张树林，东北工学院出版社，1988年 教学目标: 通过本课程的学习，使学生能够掌握真空技术的基本概念和基本知识。对真空的表示、真空的获得、真空的测量、真空的检漏以及对真空系统的组成、设计和计算等技术基础有较为深入的掌握。使学生具有独立分析和解决各种真空技术问题的初步能力，为进入“薄膜与低温等离子体技术与应用”方向的同学学习后续课程打下基础。为学习其他方向的学生建立扎实的真空物理与技术基础。 课程简介: 真空技术已融入了许多尖端科学技术，并一起得到迅速发展，从超大规模集成电路的制作，到大型加速器的运转；从受控热核聚变到人造卫星、航天器，直至民用装饰品的生产，都与真空技术密切相关。同时，真空技术是薄膜技术的重要基础。 本课程将系统介绍真空技术的基础理论，真空获得设备、真空测量仪表、真空的检漏技术以及真空系统的组成、设计的原理方法。课程将既注重真空技术中的知识体系，又反映真空技术中的最新发展。 主要内容 绪论 1 稀薄气体的分子运动理论 2 真空中气体的流动理论 3 吸附与脱附 4 真空中的电现象 5 真空获得 6