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* SUNIST运行手册 真空系统 2003年3月 SUNIST实验室 清华大学工程物理系 SUNIST 真空 真空系统运行手册 SUNIST的真空系统 获得 充气 检漏 壁处理 SUNIST 真空 真空系统 SUNIST真空系统框图 SUNIST 真空 真空系统 SUNIST真空系统 真空获得系统（P）由1200升/秒涡轮分子泵作为真空室抽气的主泵，200升/秒溅射离子泵做真空室的维持泵。为了增强抽气系统使用的机动性，在主、维持泵系统分装了旁通阀泵。可在不影响真空室真空的情况下，为外接系统提供低、高真空抽气的接口。 主泵 （TMP）— 涡轮分子泵、前级泵（RP）— 旋片泵、维持泵 — 溅射离子泵（SIP） 主阀 — CF200插扳阀（VP01）、维持阀 — CF150插扳阀（VP05）、前级阀 — 蝶阀（VP02）、主泵旁通阀 — CF35角阀（VP03）、维持泵旁通阀 — KF40角阀（VP04） 真空测量系统（M）包括真空室总压、分压测量、真空室检漏。采用的电离规与电阻规、热偶规量程分为10-5 — 100、10-1 — 105 Pa， 电容规量程10-3 — 10 Pa。真空测量规管与充气用的压电阀一起装在主、维持泵抽气管道的四只四通歧管上，歧管通过金属垫圈密封法兰连在抽气管两侧。有的歧管上还装有氟胶圈密封角阀，用以确保无论在更换规