《1硅片加工技术》授课计划.docVIP

课程授课计划 选用教材及参考资料 《硅片加工技术》 张厥宗 著 化学工业出版社 授课单元序号 主要教学内容与要求 各教学环节学时数 （在对应栏目中填写学时数） 周次 授课地点 理论 实验 实训 一体化教学 1 教学内容： 第1章　概述 教学要求： 1、了解硅材料的应用及发展； 2、掌握太阳能光伏产业。 2 第 1 周 教学楼 2 教学内容： 2.1　硅的基本物理、化学性质 教学要求： 1、了解硅材料的种类； 2、掌握硅材料的性质。 2 第 1 周 教学楼 3 教学内容： 2.2半导体硅的物理、化学性质 教学要求： 1、了解半导体硅的晶体结构； 2、掌握半导体材料的p-n结特性。 2 第 2 周 教学楼 4 教学内容： 6.1-6.2　太阳能光电转换原理—光生伏特效应 教学要求： 1、掌握太阳能光电转换原理； 2、了解太阳能电池晶片的主要技术参数。 2 第 2 周 教学楼 5 教学内容： 6.3　太阳能光伏产业用硅系晶体材料 教学要求： 1、理解直拉单晶硅棒的生产工艺； 2、熟悉铸造多晶硅的生产工艺。 2 第 3 周 教学楼 6 教学内容： 6.4　晶体硅太阳能电池晶片的结构 教学要求： 了解太阳能电池晶片的结构。 2 第 3 周 教学楼 7 教学内容： 光生伏特效应原理 教学要求： 了解光生伏特效应的原理。 2 第 4 周 实验室 ８ 教学内容： 7.1　太阳能电池产业用硅晶片的技术要求 教学要求： 了解太阳能电池产业用硅晶片的技术要求 2 第 4 周 教学楼 9 教学内容： 7.2-7.4　太阳能电池用硅晶片的加工工艺流程 教学要求： 1、掌握太阳电池用的硅晶片的加工过程； 2、了解太阳电池用的硅晶片的加工技术。 2 第 5 周 教学楼 10 教学内容： 7.5-7.6　太阳电池组件装置的生产工艺过程 教学要求： 1、了解太阳能电池的应用； 2、掌握太阳电池组件装置的生产工艺过程。 2 第 5 周 教学楼 11 教学内容： 电池片生产工艺流程 教学要求： 熟悉电池片的生产工艺流程 2 第 6 周 实验室 12 教学内容： 光伏组件生产工艺流程 教学要求： 熟悉组件的生产工艺流程 2 第 6 周 实验室 13 教学内容： 3.1　对集成电路（IC）用硅单晶、抛光片的技术要求 教学要求： 1、了解半导体材料的纯度； 2、掌握对集成电路（IC）用硅单晶的技术要求。 2 第 7 周 教学楼 14 教学内容： 3.3　控制硅片质量的主要特征参数 教学要求： 1、掌握硅片质量控制中有关技术术语； 2、了解硅片加工的质量特性参数。 2 第 7 周 教学楼 15 教学内容： 3.4-3.5　硅晶片加工的工艺流程 教学要求： 1、掌握硅晶片加工的工艺流程； 2、了解硅单晶棒（锭）的制备。 2 第 8 周 教学楼 16 教学内容： 3.6-3.9　硅晶棒（锭）的截断 教学要求： 了解硅单晶棒外圆的滚磨（圆）磨削、硅单晶棒外圆的滚磨（圆）磨削 2 第 8 周 教学室 17 教学内容： 3.10-3.14　硅切片、倒角、表面处理 教学要求： 1、掌握硅切片工艺； 2、了解硅片的倒角与表面处理。 2 第 9 周 教学楼 18 教学内容： 3.15-3.17　硅片的抛光 教学要求： 1、掌握硅片抛光原理； 2、了解硅片抛光工艺流程。 2 第 9 周 教学楼 19 教学内容： 3.18-3.20　硅片的化学清洗 教学要求： 1、掌握清洗工艺流程； 2、了解硅片的包装。 2 第 10 周 教学楼 20 教学内容： 硅片生产工艺流程 教学要求： 了解硅片的生产工艺流程及注意事项 2 第 10 周 实验室 21 教学内容： 4.1　硅外延片 教学要求： 1、掌握硅外延片的种类； 2、了解硅外延片的制备。 2 第 11 周 教学楼 22 教学内容： 4.2　硅锗材料 教学要求： 1、掌握硅锗材料的种类； 2、了解硅锗材料的制备。 2 第 11 周 教学楼 23 教学内容： 4.3　硅退火片 教学要求： 1、掌握硅退火片的制备； 2、了解绝缘层上的硅。 2 第 12 周 教学楼 24 教学内容： 5.1-5.3　硅片主要机械加工参数的测量 教学要求： 1、掌握硅片主要机械加工参数； 2、了解导电类型（导电型号）的测量。 2 第 12 周 教学楼