3扩散间基本操作.pptVIP

扩散的基本操作 扩散工艺流程 装片 → 送片 → 扩散 → 下舟 卸片 方块电阻测试 扩散基本操作 打开扩散传递窗对流入扩散间的硅片进行自检，首先检查硅片绒面有无色斑，硅片是否甩干，确认有无碎片、裂纹片，并对照流程卡确认数量，如有及时报告工序长分清职责避免生产统计中差异的产生 。 将硅片从传递窗取到扩散装片台上 ，注意只能一只手取一只盒子，严禁一手拿取二只盒子，拿取盒子要轻拿轻放 。取完硅片要及时关闭传递窗。 在插片前要先检查一下石英舟是否完好，如有裂痕要及时作醒目标识并隔离。扩散装片采用双片单面扩散，即在同一槽内同时插入二片硅片，边装片边检查硅片绒面状况，有绒面问题的要及时挑出。 将插好硅片的石英舟放至指定地点，等待空闲的石英管，待slider完全退到外面后，把装满硅片的舟放置于slider正中，选择好工艺号，按确定按钮。 扩散工艺结束后，把石英舟从slider上取下，放到卸片台上。待硅片充分冷却后，等距离的抽取5片测方块电阻值，记录好方块电阻值。将硅片卸入硅片盒中，最下面一片应扩散面向上，最上面一片应扩散面向下，避免扩散面受到磨擦而损伤。 填写好工序流程卡和生产记录，要注明时间和操作者，时间一定要准确，以便于以后查询，将扩散后的硅片放入刻蚀传递窗口，关上传递窗(扩散后的硅片要禁止堆积过高) 。 测方块电阻作业 将扩散好的硅片从桨上取下放在卸片台上冷却，待硅片充分冷却后，用石英吸笔在石英舟上等距离的抽取5片扩散面朝炉内的硅片。将取出的硅片拿到四探针测试仪处，正常生产时可待机。 使“R□”、“I”、“EXCH. 1”显示灯亮，调整电流档位，将待测量的硅片取出放在测试台上（扩散面向上），按下降按钮，使针头平压在硅片上（四针平齐），校准电流。 将“I”的指示灯切换至R□/ρ档，读取稳定值，并记录在电池生产记录中， 重复以上步骤。根据规定的工艺要求判断是否要返工。 扩散间换源作业 为什么需要换源？ 当源瓶中的源液较浅时，会影响生产 线正常生产，所以需要换源。 换源前先确认工艺已停止运转，确定可以换源，穿戴好防酸服、防毒面具、 和乳胶手套等。 关闭源瓶阀门，将满源 重新安置到原处，保证 生产线正常生产。 收好防毒面具、防酸服等，手套扔入指定场所，做好换源记录。 * 扩散间工艺流程 扩散基本作业 测方块电阻作业 扩散间换源作业