L14物性式压力计整理完.ppt

自动检测技术及仪表 Test Measurement Technologyand Automatic Instrumentation MT,AI ?? 检测仪表 基本概念 压力的表示方式 绝对压力（绝压）、表压力（表压）、真空度（负压）、差压 大气压力指由于空气的重量垂直作用在单位面积上产生的压力。  绝对压力指流体的实际压力，它以绝对真空为零压力。 MT,AI ?? 检测仪表 液体压力计 工作原理 以流体静力学为基础 液柱式压力计的形式 U 形管 单管 斜管 MT,AI ?? 检测仪表 弹性式压力检测仪表 压力 → 微位移 弹簧管压力计 电远传压力检测仪表 压力 → 微位移 → 电信号 差动变压器式、霍尔式、谐振式 电容式差压变送器：工作原理、变换电路 力平衡式 第②部分过程参数检测 第三章　检测仪表 MT,AI ?? 检测仪表 物性式压力检测仪表 应变式 应变效应 测量电路：不平衡电桥、横向效应、温度效应 压阻式（扩散硅式） 压阻效应 测量电路：集成全桥 压电式 压电效应 测量电路：等效电路、电压放大器、电荷放大器 MT,AI ?? 检测仪表 物性式压力检测仪表 测量原理是基于物质定律基础上的，敏感元件感受被测压力，并将压力的大小转换成敏感元件的某个物理量输出。 由于该物理量常常是一种电量信号，因此这类传感器也是电远传式的。 MT,AI ?? 检测仪表 物性式压力检测仪表 应变式 应变式压力传感器是由弹性元件、应变片以及相应的测量电路组成。 非粘性应变式压力传感器是直接使用电阻丝(应变元件)在弹性元件上，且构成一个简单桥路。 粘贴式应变式压力传感器是将电阻丝或片粘贴在压力敏感元件上，当敏感元件经受压力作用而产生应变，使得粘贴在其上的电阻丝或片的电阻值发生相应的变化。 MT,AI ?? 检测仪表 物性式压力检测仪表 应变式 测量电路 不平衡电桥设计（双臂工作、四臂工作） 横向效应及其补偿 温度效应及其补偿 压力检测中，视其弹性体的结构形式分为 单一式 组合式 MT,AI ?? 检测仪表 物性式压力检测仪表 应变式 测量电路 ?? 单一式 应变片直接粘贴在受压弹性膜片或筒上。 MT,AI ?? 检测仪表 物性式压力检测仪表 应变式 测量电路 ?? 单一式 对于厚壁筒 对于薄壁筒 MT,AI ?? 检测仪表 物性式压力检测仪表 应变式 测量电路 ?? 单一式 MT,AI ?? 检测仪表 物性式压力检测仪表 应变式 测量电路 ?? 单一式根据以上特点，一般在平膜片圆心处切向粘贴R1、R4两个应变片，在边缘处沿径向粘贴R2、R3两个应变片，然后接成全桥测量电路。 MT,AI ?? 检测仪表 物性式压力检测仪表 应变式 测量电路 ?? 组合式 由受压弹性元件（膜片、膜盒或波纹管）和应变弹性元件组合而成。前者承受压力，后者粘贴应变计，两者之间通过传力件传递压力作用。 这种结构的优点是受压弹性元件能对流体高温、腐蚀等影响起到隔离作用，使应变计具有良好的工作环境。 MT,AI ?? 检测仪表 物性式压力检测仪表 应变式 测量电路 ?? 组合式 MT,AI ?? 检测仪表 物性式压力检测仪表 压阻式 压阻效应对半导体施加应力时，半导体的电阻率会发生改变，这种现象称为压阻效应。半导体压阻效应一个很重要的特点是效应的各向异性。当单晶硅受到一定的应力时，其电阻率随应力变化具有线性关系。 MT,AI ?? 检测仪表 物性式压力检测仪表 压阻式 压阻效应由其制作工艺，也称扩散硅压力敏感元件；对于扩散型硅压力敏感元件，可以认为力敏电阻尺寸较小且又在一个薄层上，如果载荷分布是均匀的，力敏电阻在应力作用下的相对变化量可表示为 MT,AI ?? 检测仪表 物性式压力检测仪表 压阻式 测量电路为了提高满量程输出，减少零点漂移和提高线性度，通常把力敏电阻连接成不平衡电桥结构。 恒压源供电 恒流源供电 MT,AI ?? 检测仪表 物性式压力检测仪表 压阻式 测量电路 恒压源供电电桥的输出与因压阻效应引起的电阻变化的相对量以及电源电压成正比。因此输出精度直接受电源电压精度的限制，同时因桥臂电阻对温度敏感，所以输出也会受温度的影响。 MT,AI ?? 检测仪表 物性式压力检测仪表 压阻式 测量电路 恒流源供电恒流源供电时，输出电压与力敏电阻的增量以及恒流源电流成正比，恒流源精度会影响精度。这种供电方式的优点是电桥的输出与桥臂电阻无关，所以比恒压源供电方式的温度稳定性好。 MT,AI ?? 检测仪表 物性式压力检测仪表 压阻式 膜片上的压阻全桥设计分析 圆形膜片 方形膜片 矩形膜片 MT,AI ?? 检测仪表 物性式压力检测仪表 压阻式 膜片上的压阻全桥设计分析