二元光学元件的设计与应用方案.pptVIP

二元光学元件的设计与应用 物理1001 前言 长期以来, 提起光学元件, 人们很自然地想到透镜、反射镜、棱镜和光栅等。随着光学技术，特别是以光通信为代表的光电子技术的不断蓬勃发展，以及光、机、电一体化的趋势，对光学系统中的元件提出了小型化、阵列化与集成化的高要求。基于折反射的传统光学元器件对此“心有余而力不足” ，难以满足使用要求。 80年代末, 随着计算机辅助设计（CAD）和超大规模集成电路制造技术以及离子束蚀刻技术的迅速发展, 出现了一种新的光学元件的制作方法, 被称为二元光学技术。它可以制作出一些有特殊功能且高效率的衍射光学元件。 威尔得坎普(Veldkamp) 他在美国MIT林肯实验室设计新型传感系统中，率先提出了“二元光学”的概念。 他当时描述道：“ 现在光学有一个分支，它几乎完全不同于传统的制作方式，这就是衍射光学，其光学元件的表面带有浮雕结构；由于使用了本来是制作集成电路的生产方法，所用的掩模是二元的，且掩模用二元编码形式进行分层，故引出了二元光学的概念。” 二元光学的定义 二元光学元件的基本原理及特点 二元光学元件的设计 二元光学元件的应用 二元光学的定义 二元光学是基于光波衍射理论发展起来的一个新兴光学分支，是光学与微电子技术相互渗透、交叉而形成的前沿学科。 二元光学的基本原理 二元光学元件的制作大体分为两部分: ?产生所需波阵面的二元光学的模版的设计。