EVO18电镜操作培训.pptVIP

第一部分 电子束与物质的作用 第四部分 电镜样品的处理和制备 样品要干燥、洁净，没有挥发性和腐蚀性物质。 不要用裸手去接触样品和样品台，含有溶剂的样品要充分去除溶剂。 样品导电性良好。 样品在电子束照射下稳定。 样品要牢固地固定在样品台上。 金属试样 样品不能带有磁性。特别是磁性粉末样品会对电子光学系统造成危害。 如果是铁磁性块状样品，必须尽可能减小样品尺寸（不大于3×3mm2)，且用导电胶牢固地固定在样品台上。 样品要清洗干净，表面不能有污染。 表面导电性不好的样品要镀导电膜。 粉未试样 用溶剂或水将粉末超声分散后滴在盖玻片上，然后将盖玻片固定在样品台上。 也可用碳导电胶带固定粉末，并将胶带上表面与样品台用导电胶连通。 样品粘好后，用吸耳球用力将未固定牢固的粉末吹走，以免污染电镜。 镀导电膜。 电镜的合轴 电子枪合轴。 物镜光阑合轴。 当改变加速电压或操作模式时，应检查合轴情况。 加速电压的选择 加速电压高，图像分辨率高，信噪比高，但会使图像边缘效应增强，并产生充电现象。此外，因电子束穿透能力强，可使内部结构干扰表面形貌。 根据样品的情况选择不同的加速电压。 密度低、导电性不好的样品，宜选用较低的加速电压。 电子束斑大小的选择 电子束斑大（也即探针电流大），景深大，信号强，图像噪音小，但分辨率较低，样品表面易充电。 电子束斑的大小取决于第一聚光镜的励磁 电流，电流数值越小