传感与检测技术2-1-电阻应变式传感器.pptx

2.1 电阻应变式传感器2.1.1 电阻应变式传感器的基本原理2.1.2 电阻应变式传感器的结构2.1.3 电阻应变式传感器的基本特性2.1.4 电阻应变式传感器的应用2.1.1 电阻应变式传感器的基本原理应变式传感器的核心元件是电阻应变片，它可将试件上的应力变化转换成电阻变化。导体或半导体在受到外界力的作用时，产生机械变形，机械变形导致其阻值变化，这种因形变而使阻值发生变化的现象称为应变效应。 实验演示：取一根细电阻丝，两端接上一台3位半位数字式欧姆表（分辨率为1/2000），记下其初始阻值（为10.01）。当我们用力将该电阻丝拉长时，会发现其阻值略有增加（增加到为10.05）。测量应力、应变、力的传感器就是利用类似的原理制作的。2.1.1 电阻应变式传感器的基本原理对于一长为L、横截面积为A、电阻率为ρ的金属丝，其电阻值R为：如果对电阻丝长度作用均匀应力，则ρ、L、A的变化(dρ、dL、dA)将引起电阻R变化dR ，dR可通过对上式的全微分求得：2.1.1 电阻应变式传感器的基本原理电阻相对变化量为： 若电阻丝是圆形的，则A=πr2,对r 微分得dA=2πrdr，则：2.1.1 电阻应变式传感器的基本原理由材料力学的知识：在弹性范围内，金属丝受拉力时，沿轴向伸长，沿径向缩短，则轴向应变和径向应变的关系为： μ为金属材料的泊松系数。2.1.1 电阻应变式传感器的基本原理将（2-4）式、（2-5）代入（2-3）式得：KS称为金属丝的灵敏系数，表示单位应变所引起的电阻的相对变化。2.1.1 电阻应变式传感器的基本原理对于确定的材料，（1+2μ）项是常数，其数值约在1~2之间，实验证明（dρ/ρ）/εx 也是一个常数。上式表示金属丝的电阻相对变化与轴向应变成正比关系。金属导体：第一部分为主，第二部分可忽略,即（1+2μ）（dρ/ρ）/εx。半导体材料则正好相反：（1+2μ） （dρ/ρ）/εx 。根据应力和应变的关系：应力 σ =εE，即σ ∝ε，而 ε ∝dR，所以 σ ∝dR。2.1.2 电阻应变式传感器的结构1.应变片电阻应变片品种繁多, 形式多样。但常用的应变片可分为两类：金属电阻应变片和半导体电阻应变片。金属电阻应变片由敏感栅、基片、覆盖层和引线等部分组成。敏感栅是应变片的核心部分, 它粘贴在绝缘的基片上, 其上再粘贴起保护作用的覆盖层, 两端焊接引出导线。金属电阻应变片的敏感栅有丝式、 箔式和薄膜式三种。2.1.2 电阻应变式传感器的结构(1)金属丝式应变片丝式应变片是将金属丝（一般是合金，电阻率较高，直径约0.02mm）按照图示形状弯曲后用粘合剂贴在衬底上而成，基底可分为纸基、胶基和纸浸胶基等。电阻丝两端焊有引出线，使用时只要将应变片贴于弹性体上就可以构成应变式传感器。应变片的规格以面积和阻值表示。 如：（l×b）mm2 120Ω其中：l——应变片的基长； b——基宽。金属丝式应变片结构2.1.2 电阻应变式传感器的结构(2)金属箔式应变片利用光刻、腐蚀等工艺制成一种很薄的金属箔栅，厚度一般在0.003~0.010 mm，粘贴在基片上，上面再覆盖一层薄膜而制成。其优点是表面积和截面积之比大，散热条件好，允许通过的电流较大，可制成各种需要的形状，便于批量生产。2.1.2 电阻应变式传感器的结构(2)金属箔式应变片金属箔式应变片优点是：① 可制成复杂形状、尺寸精确的敏感栅；② 与被测试件接触面积大，粘结性能好；③ 散热条件好，允许电流大，提高输出灵敏度；④ 横向效应可以忽略。⑤ 蠕变、机械滞后小，疲劳寿命长；缺点：电阻值的分散性大，应用时需要作阻值调整。2.1.2 电阻应变式传感器的结构(3)金属薄膜应变片薄膜应变片是采用真空蒸发或真空沉淀等方法在薄的绝缘基片上形成0.1μm 以下的金属电阻薄膜的敏感栅, 最后再加上保护层。优点：应变灵敏系数大，允许通过的电流较大。问题：尚难控制电阻与温度，电阻与时间的变化关系。2.1.2 电阻应变式传感器的结构2.弹性敏感元件弹性敏感元件能够直接感受力的变化，并将其转化为弹性元件本身的应变或位移。弹性敏感元件形式上可分为变换力的弹性敏感元件和变换压力的弹性敏感元件。变换力的弹性敏感元件通常有等截面轴、环状弹性敏感元件、悬梁臂、扭转轴等。3.测量转换电路由于机械应变一般都很小, 要把微小应变引起的微小电阻变化测量出来, 同时要把电阻相对变化ΔR/ R转换为电压或电流的变化。因此, 需要有专用测量电路用于测量应变变化而引起电阻变化的测量电路, 目前使用较多的是直流电桥电路。2.1.3 电阻应变式传感器的基本特性1.灵敏度系数金属应变丝的电阻相对变化与它所感受的应变之间具有线性关系，用灵敏度系数KS表示。当金属丝做成应变片后，其电阻——应变特性与金属单丝情况不同。因此，须用实验方法对应变片的