第6章在线检测与误差补偿技术详解.pptVIP

6.1 概述 6.2 在线检测与误差补偿方法 6.3 微位移技术 二、微位移机构的类型 三、典型微位移工作台 1.平行弹性导轨微位移工作台 若步进电动机的输入位移为 ，微动工作台的输出位移为 ，两个弹簧的刚度分别为 ，则 2.电磁控制微位移工作台 3.磁致伸缩微位移工作台 放置于磁场中的材料发生尺寸和形状变化的现象—磁致伸缩效应。 磁致伸缩机构是利用铁磁材料在磁场的作用下产生微伸长运动来实现微位移的，改变磁场强度可控制伸长率，但铁磁材料在磁场的作用下，除了产生磁致伸缩外，还伴有发热伸长。 4.电致伸缩微位移工作台 电介质在外电场的作用下，由于感应极化的作用而产生应变，其应变大小与电场强度的平方成正比，其应变方向与电场方向无关—电致伸缩效应。 电致伸缩材料：铌镁酸铅系列（PMN）、弛豫铁电体、双弛豫铁电体、PZT铁电陶瓷系列等。 电致伸缩器件具有结构紧凑、体积小、分辨率高、无发热现象、控制简单等特点。 第6章 在线检测与误差补偿技术 一、保证零件加工精度的途径 保证零件加工精度的途径：1）“蜕化”原则，或称“母性”原则。2）“进化”原则，或称“创造性”原则。 提高加工精度的途径：1）隔离和消除误差；2）误差补偿，用相应的措施去“钝化“、抵消、均化误差，使误差减小。 第1节 概述 二、加工精