2）电磁透镜.pptVIP

扫描电子显微镜末级透镜采用小孔径角,长焦距,的?角很小（约10-3rad），所以它的景深很大。 它比一般光学显微镜景深大100-500倍，比透射电子显微镜的景深大10倍。 由于二次电子信号主要来自样品表层5-l0 nm深度范围，它的强度与原子序数没有明确的关系，适用于显示形貌衬度。 入射电子束与试样表面法线间夹角愈大，二次电子产额愈大 ． 三、二次电子衬度原理 四、背散射电子的衬度原理 1.背散射电子的形貌衬度原理 由于背散射电子在一个较大的作用体积内被激发出来的，其信号对表面形貌的变化不那么敏感，分辨率不如二次电子像高，信号强度低。此外，背散射电子能量很高，它们以直线轨迹逸出，对于背向检测器的样品表面，因无法收集到背散射电子而成一片阴影，在图像上显示出很强的衬度。 样品表面上平均原子 序数较高的区域，产生较强的信号，在背散射电子像上显示较亮的衬度。 背散射电子产率 二次电子产率 2.背散射电子的原子序数衬度原理 五、吸收电子的成像 Io=Ia+It+Ib+Is 　　 (Ib：背散射，Is：二次,　Ia：吸收,It ：透射) 　　 因此可以认为，样品表面平均原子序数大的微区，背散射电子信号强度较高，而吸收电子信号强度较低，两者衬度正好相反。 背散射电子像 吸收电子像 奥氏体铸铁的显微结构 在背散射电子像上的石墨条呈现暗的衬度， 而在吸收电子像上呈现亮的衬度。 基于二次电子像（表面形貌衬度）的分辨率比较高且不易形成阴影等诸多优点，使其成为扫描电镜应用最广的一种方式，尤其在失效工件的断口检测、磨损表面观察以及各种材料形貌特征观察上，已成为目前最方便、最有效的手段。 六、扫描电镜的应用 1.材料表面形态（组织）观察 通过SEM检测韧性断口表面可以显示断裂过程中承受的负载类型、裂纹扩展方向和材料的相对韧性。 部件断裂过程中承受的负载类型决定产生的韧窝形状，韧窝的方向显示了裂纹的扩展方向。 2.韧性断口 铜试样拉伸试验形成的韧窝 横向剪切过载下高强钢的断口 3.沿晶脆性断口 它又叫晶粒边界开裂或沿晶断裂，冰糖块或小平面形貌。是环境和应力综合影响的结果。 确认沿晶脆性断口的原因比较复杂，SEM可以确定断裂模式。断口通常放大1000×，断口金相中必须显示晶粒之间的关系，需要一系列范围的放大倍数清楚显示断口金相。 高强铝合金大气应力腐蚀开裂导致的晶粒边界开裂 130× 4.穿晶断口模式 ——包括解理和疲劳 1)解理 低碳钢试样的解理断口 385× 热轧1040钢冲击试样在－196℃断裂 解理断口显示小平面，在SEM中为很平坦的小平面，在较高的放大倍数下，小平面可以显示局部的裂纹扩展方向。河流模式代表同一解理平面内不同高度的局部解理面之间的台阶。 (a)80× (b)800 × (c) 4000× (d) 8000× (上图中放大倍数逐渐增大的金相照片） 在足够幅度下，如果部件承受有规律的载荷，一个条纹间距代表一个应力循环。 如果部件承受无规律的载荷，每个应力循环不一定产生一个条纹间距。 2)疲劳 不同倍率的果蝇SEM像 5.昆虫学研究中的应用 染色体 染色体 被精子包围的卵子 骨髓细胞 SARS AIDS 6.生物医学上的应用 7.高分子材料方面的应用 多孔SiC陶瓷的二次电子像 钛酸铋钠粉体的六面体形貌 20000? 8.无机非金属材料方面的应用 9.纳米结构材料形态观察 扫描电镜的成像及其应用 扫描电镜是一种新型的电子光学仪器。它具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点。数十年来，扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、材料等学科的领域中，促进了各有关学科的发展。 Max Knoll (1897-1969)：1935年提出扫描电镜的设计思想和工作原理。 1942年，剑桥大学的马伦成功地制造世界第一台扫描电镜。 为什么扫描电镜比透射电镜后发现？ 1924年，德国科学家德布罗意(De Broglie)指出，任何一种接近光速运动的粒子都具有波动本质。1926---1927年，Davisson和Germer以及Thompson Reid用电子衍射现象验证了电子的波动性，发现电子波长比X光还要短，从而联想到可用电子射线代替可见光照明样品来制作电子显微镜，以克服光波长在分辨率上的局限性。 1926