电容式传感器原理类型.pptVIP

0755* * 0755 电容式传感器的工作原理及类型 电容式传感器是将被测量(如位移量、尺寸、压力、厚度、物位、温度、湿度、振动、转速、流量等)的变化转换成电容量变化的--种传感器。 1、工作原理 电容式传感器实质是一种有可变参数的电容器。中间充满介质的两块平行金属极板构成的电容器，其电容量为： S ? d 此式没有考虑边缘效应 0755S ? d 式中，?：极板间介质介电常数； d：极板间距； S：极板有效面积。 式中，?：介质相对真空的介电常数，空气? ?1； ?0：真空的介电常数，?0=8.85?10-12F/m； d：极板间距； S：极板面积。 注意：上述式子还有另外一种的表达形式： 0755 由电容式传感器的工作原理表达式可以知道，ε、S、d 的改变均使电容器的电容值发生变化。因此可以保持其中的两个参数不变，只改变其中的某一个参数制造各种的电容式传感器。 d变——ε、S不变，称为变极距型（或变间隙型）； S 变——ε、 d不变，称为变面积型； ε变——d、S不变，称为变介电常数型（或介质变化型） 极距变化型 它们的电极形状有平板形、圆柱