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半导体厂节能专题 半导体厂耗能指标之建立D;PXsv `0R ~9o
s,a壹、? ? ? ? 前 言~0g9{ _x*@Dx~ 贰、? ? ? ? 理论及实测说明%I]9Yr(?9enpj\0S,| 参、? ? ? ? 结果与讨论9dK^*AK Wvpys 肆、? ? ? ? 制程冷却水的节能(实例说明)$^ uqsv[4Svn 伍、? ? ? ? 结 论!NU;Jwe2nr陆、? ? ? ? 参考文献 ZapK.[:`@}*MT[:K6I2eb■ 台北科技大学冷冻空调研究所∕林洋闵、胡石政 ■ ^!r;Yke.e ■ 台北科技大学机电整合研究所∕吴振旭 ■uG;~g3D i%^8[W)h;cH0@S 就半导体厂而言，了解耗能指标对于节约能源的执行是非常重要的，因此本文特别针对半导体厂建立一个能源分析的模型，将此模型应用于一个每年投片量约为420,000片的标准8吋DRAM厂，介绍其厂务系统的耗能指针研究，包括冰水系统、外气系统、循环空气系统、排气系统、压缩空气系统、制程冷却水系统、真空系统及超纯水系统，并以实际的节能改善例子说明能源指针的功用和节能的效益。 8x!Dq5zV$} ~}1h IO0C?n^fEAi,U高科技产业是目前台湾经济之主要动力，其中尤以