第三章SEM结构和原理new.pptVIP

 第三章扫描电镜的结构与原理 ③ 光栅扫描 行（水平）扫描，幀（垂直）扫瞄 ④ 扫描信号发生器 特点：产生电流强度随时间增大而增大， 当但达到设定值时，瞬间降为零 ⑤ 同步的作用 使得样品上的部位和CRT图像一一对应 ⑥ 放大控制 改变镜筒中扫描线圈电流大小→改变样品 上扫描区域大小→改变放大倍数 4 样品室 ① 空气锁闭装置 作用: 换样时保持镜筒真空 延长灯丝寿命 ② 样品台 可自由X,Y,Z三维运动 可旋转360度(水平) 可倾斜:-15度~+90度 ③ 样品室周围可驳接 SE,BE,X-ray EDS探头 二 信号检测与转换系统 收集极 加速极 荧光粉 SE探测器 探头 闪烁体 光电倍增管 光导管 圆玻片 1. 收集极 吸收SE，加速之 趋向探头,200～500VDC 2. 探头 ① 闪烁体：电子→光子 ② 加速极：10～12Kv 提高SE检测效率，增加SE通过铝膜的动能 ③ 光导管：传递光信号 3. 光电倍增管 光子→电信号，106增益 4. 放大器 前置放大 视频放大 经两级放大之后的电压信号调制显象管的栅极，以控制显象管内电子束打在荧光屏上的光点亮度 1 信号的种类: 参见图56 2 与SEM成像有关的信号 ① 二次电子SE（10nm内的信息) 定义：样品（物质）原子核外电子受入射电子激 发后逸出样品表面时,称其为SE 关系：SE数量↗图像质量↗ 图像质量：图像反差、图像噪波点清晰度 ② X-ray（50~500nm) 伦琴射线，?＝0.001~10nm 分类：特征X-ray（硬） ，连续X-ray（软） X-ray A. 特征X-ray 波长和能量随样品中各元素的不同而异 ，用于定 量、定性分析 Z↗激发的特征X-ray能量E↗波长↘ B. WDS： (Wavelength-Dispersive Spectrometer) 定量分析:Be4~U92,分析感量10－17～10－15g 优点：分辨率高，分析范围大，灵敏度高 缺点：速度慢，损伤和污染大 C. EDS： （Energy-Dispersive Spectrometer) 定性分析：Na11~U92 优点：简快，损伤小 缺点：分辨率低，分析范围小，灵敏度低 ③背散射电子BE(50~100nm) 定义：入射电子与样品成分发生弹性碰撞后， 被反射回来的电子 特点：与SE像互补 二 扫描电镜的成像原理 1. 二次电子像 能真实反映样品表面形貌（凹凸不平信息） 2. 多种效应 ① 倾角效应 SE产生率：?∝1/cos? ?↗SE数↗图像质量↗ ② 原子序数效应 特点： SE产生率随原子序数增加而增加 关系： 高Z区→被激发的SE数多→像亮 低Z区→被激发的SE数少→像暗 ★为何要离子溅射（喷镀黄金层）? 防止材料的损伤和荷电效应 提高SE发射率 排除原子序数效应的干扰 ③ 荷电效应(排除：导电处理) ④ 边缘效应(排除：降低加速电压) 3. SEM的基本成像过程 产生电子探针→光栅扫描→产生信号→检 出信号→放大处理信号→转为视频信号→ 调制显象管→显像 TEM：整个像