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MEMS器件 贾翠萍 MEMS器件 惯性MEMS器件 加速度计 陀螺 压力传感器 光学MEMS器件 微光开关 微光学平台 微执行器 微喷 微马达 生物MEMS器件 其它 光学MEMS器件 定义 Optical Transducers，MOEMS, Optical MEMS 分类 传统的光传感器、转换器 光传感、成像、发光器件（光电子） 利用光进行传感的器件 位置传感器、光谱仪、DNA芯片 利用微机械加工方法形成的器件 传统器件的新生命 新型器件 光开关的分类 机械式和非机械式 机械式 插入损耗低，隔离度高，不受偏振和波长影响 开关时间较长（毫秒量级），存在回跳抖动，重复性差 移动光纤、移动套管、移动准直镜、移动反光镜、移动棱镜、移动耦合器、MEMS 非机械式 开关时间短，体积小，易于集成 插损大，隔离度低，有的具有偏振和/或波长相关 电光、磁光、声光、热光等 机械式光开关 基于移动光纤式（MEMS) 基于微镜式（MEMS) 基于微镜式MEMS（二维） MOEMS光开关 光开关工作原理 微反射镜 其它方式MEMS * MEMS技术及其应用之二 移动光纤式 固定光纤 移动光纤 移动反射镜型 反射镜 转动轴 光纤 转动轴 反射镜 光纤 ?节距 移动反射镜型 特点 偏振无关 机械可靠性高 设计不受光纤种类限制 开关速度慢（毫秒） 特点 偏振无关 机械可靠性高 扩展性好 开关速度较快（10微秒） 组成部分 活动微镜 驱动执行单元 输入/输出光纤 结构 二维 N2结构方案 活动微镜只有两种状态 运动方式：上下折叠、左右移动和旋转 控制简单 难以直接实现大端口数（最大32） 用级联方式实现大端口数（可达数百） 三维 2N个微镜 每个微镜有N个可能状态 驱动结构极为复杂 4×4 4×4组成的8×8 三维 Fig. Schematic of a three-dimensional micromirror-based fiber optic switching matrix Fig. SEM micrograph of a surface micromachined two-axis beam-steering micromirror positioned using self-assembly technique 微机械1X4光开关 微机械1X8光开关  微机械2?2光开关 微机械2 ?2光开关 反射状态 直通状态 平面加工的微反射镜 DRIE工艺制作的微反射镜型光开关 （110）硅片上的反射镜 （100）硅片上的反射镜 微反射镜 湿法腐蚀制作 *