2010薄膜学习题与解答.docVIP

概念： AUTONUM 光学导纳 AUTONUM 边界条件 在电磁场跨越界面时，电场和磁场的切向分量在边界两边分别相等。 AUTONUM 菲涅尔系数 菲涅尔系数就是界面上的振幅反射系数和振幅透射系数。 AUTONUM 组合导纳 将膜系与基底看成一体时的导纳，对于单层膜和基底组合来说， AUTONUM 特征矩阵 表征薄膜特性的矩阵，仅包含薄膜的特征参数 AUTONUM 理想单层膜 理想单层增透膜就是折射率，厚度为1QW的单层膜 AUTONUM 诱导透射 在金属膜两侧设计介质膜，开发金属膜最大可能的透过率。 AUTONUM PVD 物理气相沉积（真空镀膜的方式之一） AUTONUM 虚设层 当膜层厚度对于中心波长来说是2QW或其整数倍时，该层是否存在对于中心波长处的透过率/反射率无影响，因此称为虚设层。但该层其他波长处的透过率/反射率还是有影响的。 AUTONUM 偏振效应 当光线斜入射到薄膜时，s-偏振光和p-偏振光具有不同的透射/反射率，称为偏振效应。 AUTONUM 中心波长 AUTONUM 截止波长 截止滤光片在某一波长范围的光束高透射，而偏离这一范围的光骤然变化为高反射（或称抑制），这个临界波长称为截止波长 AUTONUM 等效折射率 对于以中间一层为中心，两边对称安置的多层膜，具有单层膜特征矩阵的所有特点，因此在数学上存在一个等效层，对称膜系在数学上存在一个等效折射率。 AUTONUM 偏振光 光矢量的方向和大小不变或有规则变化的光成为偏振光。 AUTONUM 规整膜系 具有简单的周期结构，或者具有周期性的对称结构的薄膜。 AUTONUM 相位厚度 AUTONUM 光学厚度 Δ=nd AUTONUM 质量厚度 ，在晶控中控制的就是质量厚度 AUTONUM 薄膜缺陷 薄膜中的气孔、虫道、位错等缺陷。 （由薄膜镀制工艺所决定的薄膜结构中的缺陷） AUTONUM 光学薄膜系统 由入射介质、薄膜（单层或多层）、出射介质（基底）构成一个完整的光学薄膜系统。 AUTONUM 光程差 光通过不同路程传播后，其光程的差值 AUTONUM 相长干涉 当两束光波相遇时，其相位恒相同，则该处光的振幅叠加，光强增加。 AUTONUM 相消干涉 当两束光波相遇时，其相位恒相反，则该处光的振幅互相抵消，光强减弱。 AUTONUM 相位差 两束初相位相同的光各自经过路程与后相遇，产生的相位差为，与分别为光在两种介质中的波长。 AUTONUM 麦克斯韦方程 AUTONUM 驻波 两个频率相同、振动方向相同而传播方向相反的单色光波，例如垂直入射到两种介质分界面的单色光波和反射波的叠加将形成驻波。 AUTONUM 菲涅耳公式 AUTONUM 全内反射角 光线入射到两种介质的分界面上时，通常都会发生折射和反射。但在一定条件下，入射到介质上的光会全部反射回原来的介质中，而没有折射光产生，这种现象称为全反射现象。当折射角I’达到，折射光线沿界面掠射出去，这时的入射角称为临界角。 AUTONUM 布儒斯特角 使为零的入射角称为布儒斯特射角，又称为偏振角。 AUTONUM 矢量法 首先计算各个界面的振幅反射系数和各层膜的位相厚度，把各个矢量按比例的画在同一张极坐标图上，然后按三角形法则求合矢量。求得的合矢量的模即为模系的振幅反射系数，幅角就是反射光的位相变化，而能量反射率是振幅反射系数的平方。 AUTONUM 递推法 AUTONUM 对称膜系 以中间一层为中心，两边对称安置的多层膜。 AUTONUM 代换对 为了克服薄膜折射率的限制，可以用两层膜来替代一层膜，这两层膜称为代换对 AUTONUM 干涉截止滤光片 以多层介质膜镀制的，在某一波长范围的光束高透射，而偏离这一波长的光束骤然变化为高反射（或称抑制）的滤光片。 AUTONUM 带通滤光片 允许一定范围波长的光透过，不在此范围内的波长的光不能透过的滤光片。 AUTONUM 减反射膜 又称为增透膜，具有减少表面反射光的作用。 AUTONUM 中性分光镜 在整个波段上具有相同透反比的分光镜，一般还要求尽可能小的偏振效应。 AUTONUM 周期膜系 以两种不同折射率膜层构成一个基本周期，多个周期形成的膜系。 AUTONUM 光控 镀膜机中根据膜层厚度与反射率（透过率）的对应关系而监控膜层厚度的设备 AUTONUM 晶控 镀膜机中根据镀在晶振片上膜层质量造成的晶振频率变化而监控薄膜质量厚度的设备。 AUTONUM 截止滤光片 以一个特定波长为分界，一边高反射、另一边高透射的滤光片 AUTONUM 长波通 截止滤光片在长波方向高透射、短波方向高反射