SPM3讲311.pptVIP

*尽管STM有着现代许多表面分析仪器所不能比拟的优点，但由仪器本身的工作原理所造成的局限性也是显而易见的。由于STM是利用隧道电流进行表面形貌及表面电子结构性质的研究，所以只能直接对导体和半导体样品进行研究，不能用来直接观察和研究绝缘体样品和有较厚氧化层的样品。 3.0前言 （原子力有多大？) * 为了弥补STM的不足，1986年宾尼等[1]（Binnig， Quate和Gerber在斯坦福大学）又提出了原子力显微镜(Atomic Force Microscope，AFM)的设想。 粗看起来觉得难以想像，原子间的作用力那么小，怎么能够加以利用？ 认真计算后可以发现，现代加工技术能够较容易制造一个悬臂，其弹性常数弱于原子间的相应量。 * 例如，分子或晶格中原子的振荡频率为1013Hz或更高，原子质量为10-25kg量级，则原子间的弹性系数为10N／m量级，而一个4mm×lmm的铝箔的弹性系数为1N／m。 因此可以利用力学传感器检测弱到0.1nm的形变，而不至于将原子推离原来的位置。早期的原子力显微镜采用隧道电流检测力敏元件的位移，从而实现对探针尖端原子与表面原子间排斥力的监测。 *1987年，美国斯坦福大学奎特（Quate）教授研制成功现在所广泛采用的激光偏转监测的AFM和可以批量制备的微探针，使原子力显微镜的稳定性大大提高。原子力显微镜由扫描探头、电子控制系统、计算机控制及软件系统、步进电机和自动逼近控制电路四部分构成，其工作原理非常类似于“盲人摸象（像）”——在读盲文时，用手指来感受表面起伏。 *奎特（Quate）等人获得了高序热解石墨(HOPG)[2]和高序热解氮化硼(HO PBN) [3] 表面的高分辨原子图像.其中高序热解氮化硼HOPBN是第一个用AFM获得原子分辨图像的绝缘体。毫无疑问，AFM的应用范围比STM更为广阔，而且AFM实验也可以在大气、超高真空、溶液以及反应性气氛等各种环境中进行。 *除了可以研究各种材料的表面结构外，AFM还可以研究材料的硬度、弹性、塑性等力学性能以及表面微区摩擦性质；也可以用于操纵分子、原子，进行纳米尺度的结构加工和超高密度信息存储。ＡＦＭ也具有原子级的空间分辨本领,但不受样品导电性质和测试环境等因素的限制,已经成为SPM最重要的成员.所以，AFM的应用范围更广。 * 第一节介绍AFM的基础知识. 第二节AFM的几种主要操作模式. 第三节 AFM在纳米材料研究中的应用涉及AFM样品的制备方法以及典型应用实例，重点介绍AFM技术在材料的表面结构、力学性能以及生物材料研究方面的应用，并且对于针尖放大效应进行阐述。 * 3．1 AFM基础知识 3．1．1工作原理 3．1．2微悬臂形变的检测方法 （第1）隧道电流检测法 （第2）电容检测法 （第3）光学检测法 （第4）压敏电阻检测法 * 3．1．3微悬臂的设计、制备及力常数的测定 （第1）微悬臂的设计 （第2）微悬臂的制作 （第3）微悬臂力常数的测定 * 3．2 AFM的不同操作模式 3．2．1成像模式3．2．2力曲线模式 （第1）接触式力曲线 （第2）轻敲式力曲线 （第3）力分布成像(Force Volume Imaging) （第4）影响力曲线测定的因素 （第1）接触模式 （第2）非接触模式 （第3）轻敲模式 （第4）插行扫描模式 （第5）力调制模式 （第6）影响成像和分辨率的因素 * 参 考 文 献 1 Binnig G, Quate C F, Gerber C. Phys Rev Lett, 1986, 56:930 2 Binnig G, Gerber C, Stoll E, et al. Enro-phys Lett, 1987, 3:1281 3 Albrecht T R, Quate C F. J Appl Phys, 1987, 62:2599 * 3．1 AFM基础知识 3．1．1 工作原理 AFM是利用一个对力敏感的探针探测针尖与样品之间的相互作用力来实现表面成像的，工作原理如图3—1所示。 将一个对微弱力极敏感的弹性微悬臂一端固定，另一端的针尖与样品表面轻轻接触。当针尖尖端原子与样品表面间存在极微弱的作用力(10-8～10-6 N)时，微悬臂会发生微小的弹性形变。 * 针尖和样品之间的力F与微悬臂的形变Δz之间遵循虎克定律(Hooke Law) F＝k?Δz(3—1)其中，k为微悬臂的力常数。 测定微悬臂形变量的大小，就可以获得针尖与样品之间作用力的大小。 * 针尖与样品之间的作用力与距离有强烈的依赖关系，所以在扫描过程中利用反馈回路保持针尖和样品之间的作用力恒定，即保持微悬臂的变形量不变，针尖就会随表面的起伏上下移. 记录针尖上下运动