扫描电镜和能谱仪操作培训课件.pptVIP

SEM Lab Training02 操作规程简介 操作流程简介 不同方向的不同关注 工作条件 室温：15℃~25℃ 湿度：≤70% 形貌分析步骤 选择信号SEI或者BEC 扫描1聚焦，更高倍聚焦。 扫描2移动，寻找目标。移动有三种方式 扫描3检查，看有没有问题。 定格，保存，取消，下一个。 能谱分析 一般能谱步骤 元素面分布扫描（面扫描）步骤 元素线分布扫描（线扫描）步骤 ！注意 不是我们教的方法，而在我们的设备上使用的。若有万一，后果自负。 有好的方法可以跟我们交流，好的方法我们会推荐给大家。 例如 线扫描步骤 CPS5000,Amp time=25.6 Map/line 选择感兴趣的元素和区域,collect image 点掉“live”，点上“quant”,可以选择数据类型 划线 Collect line 保存 Display line scan data image?show image ?save 不同方向的不同关注 形貌 相 能谱 形貌 例1 能谱 前面的工作做好（样品放对，图像找好，目标找准）——45% 理解原理，选好工作条件——45% 大胆怀疑和尝试——10% 简言之 了解SEM两种信号和能谱的能力 了解关注的重点，以选择合适的工作条件 了解关注对象 多尝试 可以上机了吗？？ 最重要的——安全注意事项 谢谢！