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一、什么叫静电、静电产生的原因 二、静电产生的方式 三、静电放电(ESD)、静电的危害 四、影响静电的因素 五、静电损害的特点 六、静电消除及静电防护 七、实际工作中应该注意的问题 静电是指相对静止的电荷,是一种常见的带电现象。 ?静电的基本物理特性为: 1、吸引或排斥。 2、与大地有电位差。 3、会产生放电电流。 物质都是由分子组成,分子是由原子组成,原子中有带负电的电子和带正电荷的质子组成。当两个不同的物体相互接触时就会使得一个物体失去一些电荷,如电子转移到另一个物体使其带正电,而另一个体得到一些剩余电子的物体而带负电。电荷的积聚形成了静电。 (a) 两物体接触时发生电荷转移 (b) 因电荷转移在界面上形成双电层 (c) 两物体分离时分别带有正负静电荷很多人误以为把手放在物体上时,没有产生静电火花的话,就没有危害,其实人们无法 感知约2000V以下的静电,但是,对半导体却有深刻的影响。 人体带电电压 1.0 KV 2.0 KV 2.5 KV 3.0 KV 4.0 KV 5.0 KV 6.0 KV 7.0 KV 人们感觉到的冲击程度 根本感觉不到 只在手指尖处能感觉到,但无痛感 突然间一惊,但无痛感 象感觉到针扎入很一样痛 从手掌到肘处能感觉到静电的冲击,并且很痛 手指感觉到强烈的痛 受到冲击后,胳膊感觉很沉重 手指、手掌强烈的疼痛和麻的感觉 备 注 微小的放电的声音 可以看到放电时的发光 能感觉到针扎似的痛 人体的带电电压和感知的程度 人们感觉得到的静电 半导体 : 处于导体和之间的物质通过特殊处理可以调节电子的流(Si:硅素,GE:锗等半导体CHIP的原料可以使用)) 1、接触起电 2、摩擦带电 3、剥离带电 4、流动带电 可以说我们周围时刻存在着静电… 即,作业者或机械(机器)的所有动作都可以产生静电,下面我们来看一下周围可以产生静电的物质或作业动作. 静电起源 作业者 衣 服 作业椅 部品桶 作业台,地面,治 具.工具.设备.其它 使静电产生的物质或作业动作 走动动作 推椅子或从椅子上站起来的动作 穿衣服,脱衣服的动作 一般的衣服、头巾、手套等 合成纤维做成的衣服(导电性工作服除外) 塑料盖和外衣,WAX处理过的地面 使用坐势 表面COATING,打蜡处理,塑料处理资材类 没有接地的烙铁 PE-BAG, 纸,玻璃制品等 塑料以及用一般用材料做了表面处理的树木金属 箱子 纸箱等 我们周围的静电产生源 常用物品的摩擦起电序列表中越靠左侧的物品,越易产生负电荷;越靠右侧的物品,越易产生正电荷。亦即,在序列中距离越远的物品之间相互接触分离或摩擦,产生的静电电位就越高。 ESD (Electro-Static-Discharge) --静电放电:指具有不同静电电位的物体由于直接接触或静电感应所引起的物体之间静电电荷的转移。通常指在静电场的能量达到一定程度之后,击穿其间介质而进行放电的现象。 静电危害: (1) 引起电子设备的故障或误动作,造成电磁干扰。 (2) 击穿集成电路和精密的电子元件,或者促使元件老化,降低生产成品率。 (3) 高压静电放电造成电击,危及人身安全。 (4) 在易燃易爆品或粉尘、油雾的生产场所极易引起爆炸和火灾。 (5)静电引力(ESA) :吸附灰尘,造成集成电路和半导体元件的污染,大大降低成品率。如韶关屏上的灰尘、异物等。由人体或周边设备引发的静电放电的时候,有很多能量产生,如果放电通过半导体(IC)时,IC内部不能 承受大量剧烈的能量放出,就会遭到破坏。 半导体 Decap 1次 氧化膜破坏部位扩大 破坏部位 500倍扩大 半导体的静电破坏事例 案例: 1、接触特征。接触面积增大、接触压力增大都可使静电增加。 2、表面状态。表面粗糙,使静电增加;表面受氧化也使静电增加。 3、带电历程。带电历程会改变物体表面特性,从而改变带电特征。一般情况下,初次或初期带电较强,重复性或持续性带电较弱。 4、分离速度。分离速度越高,所产生静电越强。所产生静电大致与分离速度的二次方成正比。杂质。一般情况下,混入杂质有增加静电的趋向。但当杂质的加入降低了原有材料的电阻率时,则有利于静电的泄漏。由于静电产生多表现为界面现象,所以,当固体材料表面被水及其污物污染时会增强静电。 5、物质种类。相互接触的两种物体材质不同时,界面双电层和接触电位差亦不同,起电强弱也不同。在静电序列中相隔较远的 两种物体相接触产生的接触电位差较大。 6、一般情况下,混入杂质有增加静电的趋向。但当杂质的加入降低了原有材料的电阻率时,则有利于静电的泄漏。由于静电产生多表现为界面现象,所以,当固体材料表面被水及其污物污染时会增强静电。 7、湿度、温度等.静电的产生和温度的高、低有很大程度的差异,温度
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