文献Duedate assignment in wafer fabrication using artificial.docVIP

Int J Adv Manuf Technol (2004) 23: 768–775 DOI 10.1007/s00170_003_1644_8 研究论文 神经网络在晶圆制造完工期中的运用 收稿日期：2002年10月17 / 接受：2002年12月31 /网上发布：2004 3月12日 施普林格出版社伦敦有限公司2004年 摘要 完工期分配（DDA）是晶圆制造车间控制的首要任务。完工期相关的性能会影响DDA的质量规则。交货期的确定和货物的及时交付将提高客户评价和市场竞争优势。现在有一种新的对交货时间的预测方法，人工神经网络（ANN）将会在此方法中得到运用。以人工神经网络DDA规则为基础结合模拟开发技术和统计分析方法，此外，还以基于回归的DDA规则的晶圆制造为基准建模。并根据相关文献来研究神经网络是否能够超越传统的基于回归的DDA规则。 从仿真和统计结果来看，ANN_基于DDA的规则表现出了更好的成绩。基于人工神经网络DDA规则比其他规则具有较低延迟率。ANN_基于DDA的规则比其它规则有更好的灵敏度和方差。因此，如果晶圆厂信息不难获得，基于人工神经网络的DDA规则可以在预测中有更好的表现。基于回归和传统的规则的SFM_sep和JIＱ法同样会比其他的规则要好。 关键词 完工期分配;人工神经网络;晶圆制造;模拟车