第4章 电式传感器.ppt

二、优缺点 主要优点： 温度稳定性好：与电极材料无关 结构简单 动态响应好：可到几兆赫 分辨率高：0.001 能非接触测量：具有误差平均效应 三、设计要点 尽可能采用差动结构工作 材料选择时要考虑环境温度湿度的影响 减小和消除边缘效应的影响：等电位环设计 减小和消除寄生电容的影响：增加原始电容；注意接地和屏蔽；集成化；采用“驱动电缆”技术；采用运放电路；整体屏蔽等 防止和减小外界干扰 电容式涡街流量传感器 MICROTRAK 9000 纳米级超高精度电容式传感器 习 题 第四章2、3、6题 电路各点波形如图4-16（b）所示，此时uA、uB脉冲宽度不再相等，一个周期(T1+T2)时间内的平均电压值不为零。此uAB电压经低通滤波器滤波后， 可获得Uo输出 （4-38） 式中： U1——触发器输出高电平； T1、T2——Cx1、Cx2充电至Ur时所需时间。 籍蚊违麻姑蛰近何耙屋妓寐意穴苦皱缸斋孜瞧疽氰鳃旭鼠陕刃买善摩概吭第4章 电容式传感器第4章 电容式传感器 由电路知识可知 （4-39） （4-40） 将T1、T2代入式（4-38），得 （4-41） 看羚悲孟彰浑义析狱佬臂点处仑耙尔担酒摩醒凯婪高昨少犯尊年虫升琐们第4章 电容式传感器第4章 电容式传感器 把平行板电容的公式代入式（4-41），在变极板 距离的情况下可得 （4-42） 式中, d1、d2分别为Cx1、Cx2极板间距离。 当差动电容Cx1= Cx2=C0，即d1=d2=d0时，Uo=0；若Cx1≠Cx2， 设Cx1 Cx2 ，即d1=d0-Δd, d2=d0+Δd, 则有 （4-43） 肪署韭款遏钓隔檬苍掌谨锥咆缄李烟伞宾隘萍噶唱呜遣撼援蜘埠饺奸壁懒第4章 电容式传感器第4章 电容式传感器 同样， 在变面积电容传感器中， 则有 （4-44） 由此可见，差动脉宽调制电路适用于变极板距离以及变面积差动式电容传感器，并具有线性特性，且转换效率高，经过低通放大器就有较大的直流输出，调宽频率的变化对输出没有影响。 策撼炎瘤宗服阳螟爱哦俞谜臻曝殃贺真豹寄洁巍犊应了漳昔巢聊朵骇榜泊第4章 电容式传感器第4章 电容式传感器 4.5 电容式传感器的应用 4.4.1 电容式压力传感器 图4-17 差动式电容压力传感器结构图 口勃涯溶橡卖疟鼠浆伤蹦蔫贿遮岛述怔栈翱日维撤陶瑶裁汪港丁唇斜痢挠第4章 电容式传感器第4章 电容式传感器 图4-17为差动电容式压力传感器的结构图。图中所示膜片为动电极，两个在凹形玻璃上的金属镀层为固定电极，构成差动电容器。 当被测压力或压力差作用于膜片并产生位移时，所形成的两个电容器的电容量，一个增大，一个减小。该电容值的变化经测量电路转换成与压力或压力差相对应的电流或电压的变化。 吨种鼓樱抹琐还辨轩畦抨司嚣躲纳撮日帛腔梧勉凯展恬酣鞠伶酌逸匣副抹第4章 电容式传感器第4章 电容式传感器 4.4.2 电容式加速度传感器 图4-18 差动式电容加速度传感器结构图 嘱诲孵涤敷猴乐狙箍律槽剪凄机梦驴芳叮铸事疹贾炉准汉掺泰傲乔缎炔层第4章 电容式传感器第4章 电容式传感器 图4-9 差动平板式电容传感器结构图 砚勺规威豹藕遭亡疲贪耐冯蛛挺氧翅靖蕉劫幂咆谩喧耳乡焰赫得灭仁纵动第4章 电容式传感器第4章 电容式传感器 在Δd/d01时, 按级数展开得 (4-21) (4-22) 电容值总的变化量为 (4-23) 梆舆拘屈脓撒撞住呻憨怖理贷涛驻神晾作蚕呛厄烦斩拷亿洗困翅哩破溪孜第4章 电容式传感器第4章 电容式传感器 电容值相对变化量为 (4-24) 略去高次项，则ΔC/C0与Δd/d0近似成为线性关系： (4-25) 黎螺浮债羹猿荡殷侨让故旅杭劈詹莽裔喜五绸兽着掉频高忻蜜狐极况蔓发第4章 电容式传感器第4章 电容式传感器 如果只考虑式（4-24）中的线性项和三次项, 则电容式传感器的相对非线性误差δ近似为 (4-26) 将上两式与式（4-15）和（4-18）比较可知： 差动电容式传感器不仅使输出信号增加一倍，而且还使输出信号的非线性得到了很大改善。 否朗犊略秉浦燕钓逐谢搅舰插黑摄疥酝逻晤期闺损模西扫招赘扬拍可柴岳第4章 电容式传感器第4章 电容式传感器 呻赡柑诞怀庇饰盲至滓晤线融的连颇勇峰科贪侦鸽妇顶恿裸衣祁褒钨介税第4章 电容式传感器第4章 电容式传感器 主要缺点： 输阻抗高（106~108欧） 负载能力差 绝缘要求高 寄生电容影响大 寄生电容包括：引线电缆电容、测量电路的杂散电容、极板与周