硅片清洗效果.ppt

Megasonic的quartz bath使用方法 ??????? Wafer洗净用双重bath使用结构 Megasonic输出效率factor 清洗化学液 振动板-----平行度、厚度、材质等。 胶结材料---粘结力（强度、耐热性等） 振动元件--机械转换效率，温度特性 Quartz bath穿透率。(970 kHz) 底板厚度--------- 2.9 ±0.05mm 振动板的角度----- 1 ° ~1.5° 振动板之间的距离-----大约 50 ~ 80 mm * 区分 项目 标准规格 频率 430 kHz 750 kHz 970 kHz 1 海面厚度 t6.7+0.1mm/-0.2mm T4.0+0.1mm/-0.2mm T2.96~2.95mm 2 平行度 10 ? 以下 3 稳定状态 50 ?以内 4 扭曲 应该没有 石英板的megasonic穿透率。 共振振动板（?薄板使用方法---实际使用困难） （最佳厚度的半波长厚度----- Reisiner理论） 1.石英的音速( 25 ℃ ) 5900 m/sec 2. 1000 kHz 最佳厚度 t? υ= fλ(υ:速度, f=频率, λ=波长) λ= υ/f = 5900÷1000 ≒ 5.91mm t = λ/2 ≒ 2.95 mm 3. 750 kHz 最佳厚度 t? λ= υ/f = 5900÷750 ≒ 7.9mm t = λ/2 ≒ 3.9 mm Quartz底部厚度和渗透率DATA 频率: 970 kHz 实际应用厚度 (?)?????? * 石英透射效率 (970kHz) 间接方式（兆声波) -一般中期声波或超声波，如SUS 间接方式，透过率提高50%以上。. 底部的设计方法 1) megasonic的透过率的改善 2）megasonic考虑反射波的影响 3）quartz清除底部气泡。 4）bath内溶液的改善。 底部斜率的原因 气泡消除方法 1).底板抛光处理。 2）BATH液的连续供应，强制清除 3）大约10秒左右为周期性DI / W，用AIR气泡强 制排斥。 石英bath制作时注意事项 ?底部处理----平行度：10?以下 如果默认：小于50? 精细抛光：＃2000或更高 扭曲：没有 ?抛光的表面处理工序后必须是声波的非均匀传输.- （表面状态良好时窗玻璃的程度） ?底部水平需要倾斜，防止杂物浮着底部 （影响兆声波2次衰减） ?夹具底座晶片盒的底部，在设计中它不与声波传递干扰。 ?（应该是没有任何部分，涵盖晶圆。） Quartz bath反射/折射 当声波穿过非均匀介质 它可以被延长，但输出被分配. * * * *