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华南农业大学博士生现代测试技术期终作业 报告题目：MEMS传感器技术 学生姓名：陈科尹 学 号：02 学科专业：农业电气化与自动化 学院年级：工程学院 2011级 任课教师：刘洪山 华南农业大学工程学院 2011年12月27日 MEMS传感器技术 工程学院 陈科尹 学号：02 内容提要 MEMS的基本介绍 MEMS的加工方法 MEMS的基本分类 几种常见的MEMS传感器 MEMS在农业上的应用 相关参考文献 MEMS的基本介绍 MEMS的基本介绍 MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)是微机电系统的缩写，它是以机械学、电子学和计算机软件技术融合而成的一门新兴交叉学科。 MEMS的基本介绍 MEMS(微机电系统)，同时也是一门技术，是在一个硅基板上，微米范围内集成了微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统的高新技术。 MEMS的基本介绍 MEMS又是一种产业，采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、农业、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。 MEMS的加工方法 MEMS，微电子机械系统采用传统的机械加工艺、软x射线深层光刻电铸成型工艺和半导体硅微机加工工艺等来制作微尺度的机械、电子、流体、光学、生物及其它一些器件。制作微电子机械系统的主流技术是硅微机械加工工艺，它越来越多地用于微电子机械系统的加工中。下面是其三种常用的加工方法： MEMS的加工方法 传统超精密加工方法 传统的机械加工方法以日本为代表，超精密机械加工是日本研究微电子机械系统的重点。它主要是传统机械加工的微型化，这种加工方法就是用大机器来制造小机器，然后再利用小机器制造出微机器，这种加工方法加工出来的电子机械适用于在特殊场合的应用，例如微型工作台、微型机械手等。 MEMS的加工方法 微机械加工方法LIGA 微机械加工方法LIGA以德国为代表,LIGA~IY法是指采用同步x射线深层光刻、注塑复制和微电铸制模等主要工艺步骤组成的一种综合性微机械加工技术。LIGA技术首先采用同步X射线光刻技术光刻出所要生产的图形，然后采用电铸的方法加工出与光刻图形相反的金属模具撮后采用微塑注来制备微机械结构。 MEMS的加工方法 半导体硅微机械加工方法 半导体硅微机械加工方法与传统微电子器件工艺兼容，这种加工方法以美国为代表。它利用集成电路工艺技术或化学腐蚀对硅基材料进行加工，加工成硅基微电子机械系统的器件，它可以实现微电子与微机械的系统集成，非常适合于批量生产，已经成为微电子机械系统的主流技术。 MEMS的基本分类 MEMS一般可以以其核心元件分为两类：传感型MEMS、致动型MEMS。 传感型MEMS 致动型MEMS 几种常见的MEMS传感器 微压力传感器 微机械压力传感器是最早开始研制的微机械产品,也是微机械技术中最成熟、最早开始产业化的产品。从信号检测方式来看, 微压力传感器可分为压阻式和电容式两类, 分别以体微机械加工技术和牺牲层技术为主制造;从敏感膜结构来看,微压力传感器可分为圆形、方形、矩形、E 形等多种结构。 几种常见的MEMS传感器 微压力传感器 几种常见的MEMS传感器 微压力传感器 几种常见的MEMS传感器 微压力传感器 目前微机械压力传感器的主要发展方向: 一是扩展其在汽车、工业测量控制、医疗仪器等方面的应用, 加速产业化进程; 二是将压敏器件与信号处理、校准、补偿、微控制单元进行单片集成, 以形成智能化的压力传感器。 几种常见的MEMS传感器 微加速度传感器 硅微加速度传感器在过去十年里发展很快, 是继微压力传感器之后第二个进入市场的微机械传感器。微加速度传感器有很多种类型, 目前最有吸引力的是电容式力平衡加速度计, 其典型产品是Kuehnel 等人1994 年报道的A GXL 50 型。系统分为四个部分: 质量块、检测电容、力平衡执行器和信号处理电路, 均被集成在3mm ×3mm 的硅片上, 其中机械部分采用表面微机械工艺制作, 电路部分利用BiCMOS IC 技术制作。 几种常见的MEMS传感器 微加速度传感器 几种常见的MEMS传感器 微加速度传感器 几种常见的MEMS传感器 微加速度传感器 随后Zimmermann 等人报道了利用SIMOX SOI 芯片制作的类似结构的微加速度传感器，另外Chan 等人还报道了测量范围在5g 和1g 的改进型的力平衡式加速度计。这种传感器在汽车的防撞气袋控制等领域有着广泛应用，而且成本较低(在15 美元以下) ，因而引起了产业界极大的兴趣和投资热情。 几种常见的ME