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新型自解耦六维力/力矩传感器 1传感器历史发展路程 随着科学技术的发展，信息技术也越来越成熟，传感器在获取信息的过程中起着非常重要的作用。通过传感器可以获取准确可靠的信息，提高工作效率。在现代技术的发展中，尤其是先进的信息技术和自动化技术，需要通过各种传感器 来控制生产过程中的各个参数，使设备在工作中达到最佳状态。传感器是人类获取信息的基本工具，它位于研究对象与测控系统之间的接口处，是检测系统的首要环节，是感知、获取与检测信息的窗口，是信息技术的源头。传感器在产品的质量检测和控制、系统安全运行、自动化生产与控制系统的搭建等方面有非常重要的作用。 传感器能够感知待测物体并按照一定规律转换成可输出信号，通常由敏感元件和转换元件构成。最常见的传感器有位移传感器、速度传感器、温度传感器、湿度传感器、压力传感器等。按照工作原理进行分类，传感器又可以分为电阻式传感器、电感式传感器、电容式传感器、压电式传感器、磁敏式传感器、热电式传感器、光电式传感器等。本文所研究的传感器类型属于压电式传感器，压电式传感器是以压电效应为工作基础的，当在传感器表面作用一定大小的力时， 传感器就会产生变形，传感器上下两个表面产生符号相反的电荷，当外力撤去后，又重新恢复到不带电的状态。传感器根据其所蕴含的技术特征，可以分为普通传感器和新型传感器。普通传感器发展较早，主要是应用于传统技术，而新型传感器随着计算机技术