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电子能量损失谱基本原理及应用燕常宾谷跃龙摘要电子能量损失谱按照能量损失的范围可以分为弹性散射区、低能损失区、和高能损失区。由不同的能量损失峰可以获得样品厚度、复介电系数、价带和导带电子态密度、禁带宽度等参数，并可以区分元素所处价态、能态结构等性质。关键词:电子能量损失谱弹性散射价电子的单电子激发损失峰等离子体基元损失峰电离损失峰化学位移第一章引言1.1EELS发展史在1929年由Rudberg发现利用一特定能量的电子束施加在欲测量的金属样品上，然后接收非弹性（亦即是有能量损失）的电子，发现会随着样品的化学成分不同而有不同的损失能量，因此可以分析不同的能量损失位置而得知材料的元素成份。EELS在50年代就已经开始流行起来，称为材料测试的主要手段之一。60年代末70年代初发展起来的高分辨电子能量损失谱（HREELS），在电子非弹性碰撞理论的推动下，由于其对表面和吸附分子具有高的灵敏性，并对吸附的氢具有分析能力，更重要的是能辨别表面吸附的原子、分子的结构和化学特性；1.2EELS的特点及作用电子能量损失谱是利用入射电子引起材料表面原子芯级电子电离、价带电子激发、价带电子集体震荡以及电子震荡激发等，发生非弹性散射而损失的能量来获取表面原子的物理和化学信息的一种分析方法。电子在固体及其表面产生非弹性散射而损失能量的现象通称电子能量损失现象。只有具有分立的特征能量损失的电子能量损失峰才携带有关