第五章 压电式传感器课件.ppt

第五章 压电式传感器 压电式传感器是一种有源的双向机电传感器。 它的工作原理是基于压电材料的压电效应。石英晶体的压电效应早在1680年即已发现，1948年制作出第一个石英传感器。 ● 5.1 压电效应 ● 5.2 压电材料 ● 5.3 测量电路 ● 5.4 压电传感器的应用 5.1 压电效应 压电式传感器大都是利用压电材料的压电效应制成的。 正压电效应: 某些晶体或多晶陶瓷，当沿着一定方向受到外力作用时，内部就产生极化现象，同时在某两个表面上产生符号相反的电荷；当外力去掉后，又恢复到不带电状态；当作用力方向改变时，电荷的极性也随着改变；晶体受力所产生的电荷量与外力的大小成正比。上述现象称为正压电效应。 逆压电效应: 如对晶体施加一定变电场，晶体本身将产生机械变形，外电场撤离，变形也随着消失，称为逆压电效应。 压电转换元件受力变形的状态可分为下图所示的几种基本形式。 一、石英晶体的压电效应 石英晶体是正六棱柱体（六面体）。Z轴是晶体的对称轴，称为光轴；X轴压电效应最显著，称为电轴；Y轴加力产生的变形最大，称为机械轴或力轴。 X轴和Y轴受力后，石英晶体压电效应示意图 石英晶体受力方向与电荷极性的关系 结论：由于压电晶体的各向异性，并不是所有的压电晶体都能在这几种变形状态下产生压电效应。例如石英晶体就没有体积变形压电效应。但它具有良好的厚度变形和长度变形压电效应，即在X轴和Y轴受力时，才会产生压电效应，被称为纵向、横向压电效应。 在石英晶体上切下一片平行六面体——晶体切片 1．当X轴方向受力时，垂直X轴平面上产生的电荷为： 则极间电压为： 当在垂直X轴平面上，外加电场Ex时， 2. Y轴方向受力时，垂直X轴平面上产生的电荷为： 逆压电效应： 结论： ①无论正和逆压电效应，其作用力(或应变)与电荷（电场强度）之间成线性关系； ②晶体在哪个方向有正压电效应，则在此方向上一定存在逆压电效应； ③石英晶体不是在任何方向上都存在正压电效应。 二、压电陶瓷的压电效应 压电陶瓷是一种人工制造的多晶铁电体，1847年就发现了钛酸钡这种陶瓷材料具有压电特性。 压电陶瓷首先需经过极化处理，其过程如下: 5.2 压电材料 选用合适的压电材料是设计高性能传感器的关键。一般应考虑以下几个方面： ①转换性能：具有较高的耦合系数或具有较大的压电常数； ②机械性能：压电元件作为受力元件，希望它的机械强度高、机械刚度大。以期获得宽的线性范围和高的固有振动频率； ③电性能：希望具有高的电阻率和大的介电常数，以期望减弱外部分布电容的影响并获得良好的低频特性； ④温度和湿度稳定性要好：具有较高的居里点、以期望得到宽的工作温度范围； ⑤时间稳定性：压电特性不随时间蜕变。 主要有两种材料：一种是压电晶体，如石英晶体；一种是压电陶瓷，如钛酸钡，锆钛酸铅等。 5.3 测量电路 一、等效电路 把压电元件等效为一个电荷源Q和一个电容器Ca的 等效电路，同时也等效为一个电压源U和一个电容 器Ca串联的等效电路 。 二、测量电路 根据压电元件的工作原理及如前所述两种等效电路，与压电元件配套的测量电路的前置放大器也有两种形式： ? 电压放大器：其输出电压与输入电压(压电元件的输出电压)成正比。 ? 电荷放大器：其输出电压与输入电荷成正比。 测量电路的作用: (1)将压电式传感器的高输出阻抗经放大器变换为低阻抗输出; (2)将微弱的电压信号进行适当放大。 1. 电压放大器： 等效电阻： 等效电容： 所以，当压电元件受到作用力F为：  则， 放大器输入电压为： 幅值为： 相位差为： 令 当 时，输出幅值与频率无关： 放大器的实际输入电压 U与理想情况的输入电压Uim幅值之比为： 时，可近似看作放大器的输入电压与作用力的频率无关。 当测量回路的时间常数满足一定条件时，压电传感器具有相当好的高频响应特性。 在低频时，若测量回路的时间常数不大，则灵敏度会下降。 扩大工作频带低频下限的方法： ①增大回路电容，但灵敏度下降； ②增大输入电阻，低频相应变好。 电荷放大器的输出为： 当A0足够大时，输出为： 计算证明，对A0的要求并不很高，实际器件很容易达到。 电荷放大器也存在下限截止频率，如-3dB的截止频率为：