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激光微细加工的发展 摘要： 这篇文章描述了两种进一步扩大激光微细加工在工业内应用范围的技术。一种技术是：同步重叠扫描；使用掩模投影的概念，应用准分子激光器的微型机器的多维结构材料。另一种技术是，同步扫描，使用的是基于电流中的扫描系统并且对于掩膜的投影方法在许多应用上提供了更有吸引力的选择。本文对这两种技术都做了较为详细的叙述，并且对它们在制造业的应用也做了介绍。 关键词：激光微细加工 波形扫描 激光应用 介绍 激光系统正越来越多的被应用于许多不同的 微细系统技术的分支。例如：生物技术，汽车制造，通信领域，画图设备，印刷技术，半导体技术。激光早这些应用领域的应用方式多种多样，从基础研究和发展阶段到完整的生产环境，当前正被研究考虑的高规格产品的要求是相当严格的，这也促使了目前使用的激光系统和激光技术进行了许多改良和发展。这些进步反过来促进了能够产生工艺改善，生产改良和降低能耗的基于激光的技术发展。 准分子激光系统的和Nd：YAG激光系统，这两种激光系统处于产业融合的最前沿，并且他们的应用在生产成熟度方面已经达到了很高的水平。这些激光系统在遍及全世界的许多配置中都存在应用。本文将说明 应用这些激光系统的技术尤其是准分子激光系统应用于产生 微结构的使用以及具有高重复率的Nd：YAG激光用于快速形成大面积区域图形的使用都将详细说明。 掩模投影技术 大多数在制造业中应用的准分子激光系统