了射频微机电系统(MEMS)开关技术的最新进展及其优势..docVIP

了射频微机电系统(MEMS)开关技术的最新进展及其优势 数字测试、仪器和无线通信领域的新兴应用需要高性能的开关产品。未来的应用将延续这一趋势——需要更宽的带宽、更低的损耗、更高的电阻可重复性和更高的线性 度。以TeraVicta为代表的开关产品供应商将继续利用MEMS开关技术的优势，推动新一代开关产品的发展，满足最新应用的需求。 关键词： 射频 微机电系统 MEMS 本文分析了射频微机电系统(MEMS)开关技术的最新进展，介绍了该技术的优势，并对最新的MEMS产品与传统的机械式和机电式继电器和开关进行了对比。 一直以来，消费者对更快的处理器速 度与更高的数据通信速率越来越高的要求促使人们不断提高电子器件的性能。这一推动力遍及各个方面，已经成为电子行业的基本特点——从设备供应商到元件制造 商和系统集成商。到目前为止，已有开关技术的性能基本上能够满足开关性能增长的需要，开关制造商在很大程度上没有十分迫切的性能需求。但是，电子行业若干 关键领域中的一些重要应用正要求大幅度提高开关的性能。这些应用包括测试与仪器设备，以及无线手持设备与基础架构等。 新的挑战 开 关技术面临的新挑战主要来源于测试与仪器领域，其中新一代IC器件的时钟与数据速率已经超过了1Gbps，这是大多数已有自动测试设备(ATE)的最高性 能。由于新一代高性能ATE系统往往价格昂贵，研发时间很长，因此器件制