基于铌酸锂单晶基片的双频点超声功率换能器的设计与实现.docVIP

基于铌酸锂单晶基片的双频点超声功率换能器的设计与实现 　　摘 要超声功率换能器主要是用于超声功率量值传递，是能够产生标准超声功率剂量的标准器，在超声功率计量体系中具有重要的地位，有着超声功率量值的承上启下的作用。目前国内多数的超声功率换能器是基于陶瓷晶片设计的，本文提出一种基于铌酸锂单晶基片来设计能够实现两个频率输出的超声功率换能器。主要介绍设计原理和输出超声功率的数据分析。 　　【关键词】超声换能器 铌酸锂 压电晶片 超声功率 　　在超声技术研究和应用中，声压、声功率和声强等是基本声学量，其中声功率是最受关注的。超声量值的准确程度直接关系到超声科学领域研究的准确性，关系到超声设备性能评定的准确度。超声功率是超声处理和医用超声中的重要参数，特别是在医用超声检查、治疗中，为了避免因超声剂量过大使患者受到伤害，超声设备的输出声功率（或声强）规定具体限值，并要求对其量值进行计量检定（或测试）。超声功率换能器发射固定频率与稳定功率的超声波，作为超声功率国家基标准装置间的传递标准，也作为主副基准间比对的载体，确保超声功率计量中超声基本量的复现，是确保超声量值准确性的关键装置；被用来直接地检定各个等级的超声功率计，完成超声功率量值的顺利传递与溯源。 　　在国际上，超声功率换能器的工作频率普遍较高。德国联邦物理技术研究院在上世纪末研制的铌酸锂单晶换能器基频为2MHz左右，且在其3