3集成电路中的无源元件..pptVIP

常用集成电阻器 基区扩散电阻 发射区扩散电阻、埋层扩散电阻 基区沟道电阻、外延层电阻 离子注入电阻 多晶硅电阻、MOS电阻 * * 半导体 集成电路 集成电阻器 集成电容器 一般集成电路中使用的无源元件: 电阻、电容 常见的无源元件有 电阻、电容、 电感 w d L 氧化膜 p n P型扩散层 （电阻） 基区扩散电阻 氧化膜 p n n P型扩散层 （电阻） 基区扩散电阻 （Rs=100-200 / ) Rs为基区扩散的薄层电阻 L、W为电阻器的长度和宽度 端头修正 拐角修正因子 横向扩散修正因子 薄层电阻值Rs的修正 小阻值电阻可采用胖短图形 一般阻值电阻可采用瘦长图形 对大阻值电阻可采用折叠图形 VCC L w 氧化膜 p n P型扩散层 （电阻） 基区扩散电阻最小条宽的设计 设计规则决定最小条宽 工艺水平和精度 流经电阻的最大电流 取三者中的最大者 氧化膜 p 5~10% 如果LW, 可以忽略不记 如果工艺控制水平可使 由线宽引起的电阻相对误差η小于10%, 氧化膜 p n n 耗尽层 （反向偏压） 夹层电阻区域 夹层电阻 （RF=2-10K / ) n+ n N型扩散层 基区沟道电阻 Si SiO2 Leff L W 多晶硅电阻 导电层 绝缘层 氧化膜 p N+ 平板型电容 双极集成电路中的MOS电容器 铝电极